Massenspektrometer für Chalkogenid-MBE

Gegenstand der Ausschreibung ist die Beschaffung eines Massenspektrometers, das speziell für den Einsatz in einer Thermal Chalkogenid Epitaxy-Wachstumskammer konzipiert ist. Das Massenspektrometer muss über einen NW40CF-Flansch verfügen und einen maximalen In-Vakuumdurchmesser von 39mm nicht überschreiten. Es muss UHV-kompatibel sein und bis zu einer Temperatur von 250°C ausgeheizt werden können. Der geforderte Massenbereich liegt zwischen 1 und 200u, wobei eine Auflösung von <1u erforderlich ist. Die Reproduzierbarkeit des Peak-Verhältnisses muss besser als 0,75% sein. Die Empfindlichkeit (Nachweisgrenze) mit SEM soll 5 x 10e-15 betragen. Die Messgeschwindigkeit soll zwischen 1ms/u und 10s/u liegen. Das Massenspektrometer soll mit zwei unabhängigen Iridium, Y2O3-beschichteten Filamenten ausgestattet sein. Eine geschlossene Ionenquelle ist ebenso erforderlich wie eine Ethernetschnittstelle zur Datenübertragung und Steuerung. Die Bauform des Geräts soll gerade sein. Zusätzlich zur Lieferung des Massenspektrometers sind die Lieferbedingungen gemäß Incoterms 2020 DAP zum Paul-Drude-Institut für Festkörperelektronik in Berlin zu berücksichtigen. Die Bieter müssen bestätigen, dass ihr Angebot alle im Leistungsverzeichnis aufgeführten Mindestkriterien und Anforderungen erfüllt. Etwaige Allgemeine Geschäftsbedingungen des Bieters finden keine Anwendung. Die Lieferzeit nach Auftragserteilung ist anzugeben. Das Angebot mit dem niedrigsten Preis erhält die höchste Punktzahl, wobei andere Angebote entsprechend ihrer Preisrelation bewertet werden. Das Angebot mit der höchsten erreichten Punktezahl erhält den Zuschlag.