Turbomolekularpumpe mit CF200 Flansch für Selenid-Wachstumskammer

Gegenstand der Beschaffung ist eine Turbomolekularpumpe mit CF200 Flansch, die speziell für den Einsatz in einer Selenid-Wachstumskammer konzipiert ist. Die Pumpe muss vollmagnetgelagert sein, um einen wartungsarmen und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Ein CF200-Anschlussflansch ist erforderlich, um eine nahtlose Integration in bestehende Vakuumsysteme zu ermöglichen. Die Kühlung der Pumpe erfolgt über Wasser, was eine effiziente Wärmeabfuhr und stabile Betriebstemperaturen sicherstellt. Die Saugleistung der Pumpe muss mindestens 1000 l/s betragen, bezogen auf Stickstoff (N2), um die erforderlichen Vakuumbedingungen in der Wachstumskammer zu erreichen. Der maximal zulässige Vorvacuumdruck muss größer als 3 mbar sein, ebenfalls bezogen auf N2, um einen robusten Betrieb auch bei höheren Drücken zu gewährleisten. Der Enddruck der Pumpe muss kleiner als 2e-10 mbar sein, um ein hochreines Vakuum für die Selenid-Wachstumsprozesse zu gewährleisten. Die Einbaulage der Pumpe soll beliebig sein, um eine flexible Integration in verschiedene Anlagenkonfigurationen zu ermöglichen. Die Lautstärke der Pumpe darf 50dB nicht überschreiten, um eine angenehme Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Die Leistungsaufnahme der Pumpe bei Enddruck muss kleiner als 200 W sein, um den Energieverbrauch zu minimieren. Die Lieferung der Turbomolekularpumpe muss gemäß DAP Incoterms 2020 zum Paul-Drude-Institut für Festkörperelektronik erfolgen.