Turbomolekularpumpe für Organik-MBE Ladekammer

Für den Aufbau einer Organik MBE wird eine Turbomolekularpumpe für die Ladekammer benötigt, wobei der Energieverbrauch aufgrund gestiegener Energiekosten eine besondere Rolle spielt. Die Absenkung der Pumpen-Drehzahl soll eine Möglichkeit zur Energieeinsparung bieten. Die Integration des Druckmesssystems in den Turbopumpen-Controller soll zukünftig eine weitere Energiereduktion ermöglichen. Aufgrund des begrenzten Platzes im Rack muss der Controller klein sein. Die Turbopumpe muss vollmagnetgelagert sein und einen CF160 Flanschanschluss besitzen. Die Saugleistung für Stickstoff muss mindestens 680 l/s betragen, und der Basisdruck muss kleiner als 5E-10 hPa sein. Der maximal zulässige Vorvakuumdruck muss größer als 5 hPa sein, und die Leistungsaufnahme beim Erreichen des Basisdrucks darf P<= 200 Watt nicht überschreiten. Die Drehzahl muss im Bereich von 50 bis 100% der Maximaldrehzahl einstellbar sein. Ein Belüftungsventil sowie Wasser- und Luftkühlung müssen vorhanden sein. Es muss die Möglichkeit geben, ein externes Sicherheitsventil anzusteuern, wenn die Drehzahl der Pumpe stark abfällt. Die Masse der Pumpe muss unter 25 kg liegen. Der Controller der Pumpe muss zwingend einen Drucksensor anschließbar sein und darf nicht breiter als ¼ der Standard-Rackbreite sein (ca. 107 mm). Er muss die Drehzahl, die Stromaufnahme, die Leistungsaufnahme, die Pumpentemperatur und Fehlermeldungen anzeigen können. Die Energieversorgung erfolgt über einen 230V Schukostecker. Die Lieferung muss im Preis enthalten sein und erfolgt gemäß Incoterms 2020 DPU an das Paul-Drude-Institut für Festkörperelektronik, Leibniz-Institut im Forschungsverbund Berlin e.V, Hausvogteiplatz 5-7, 10117 Berlin.