Oberflächenprofilometer für Hochschule RheinMain

Die Hochschule RheinMain am Fachbereich Ingenieurwissenschaften benötigt ein neues taktiles Oberflächenprofilometer, um die Forschungsinfrastruktur im Bereich Mikrosystemtechnik zu modernisieren. Das aktuelle Gerät ist veraltet und nicht mehr wartbar. Das neue System soll eine Messlänge von mindestens 150 mm, eine Höhendifferenz von 1 mm und eine Z-Auflösung von 0,1 nm ermöglichen. Ein motorisierter XY-Tisch mit programmierbarer Probenpositionierung, 360° Rotation und Tip/Tilt-Ausgleich ist erforderlich. Die Probenhalterung muss Vakuumansaugung für Wafer von 100 bis 150 mm Durchmesser und eine Höhe von bis zu 40 mm unterstützen. Zusätzliche Ausstattungsmerkmale umfassen eine Halterung für 2D/3D-Stressmessung, eine werkzeuglose Spitzenwechsel-Funktionalität mit Autokalibrierung und eine Sollbruchstelle für die Messspitzen zum Schutz des Messkopfes. Die Software soll 3D-Abbildungsfunktionalität, umfangreiche Analysewerkzeuge, automatische Annäherung der Messspitze und ein integriertes Videobild zur Positionierung und Überwachung der Messung bieten. Variable Auflagekräfte von 1 mg bis 15 mg sind gefordert. Die Bedienung und Handbücher sollen in deutscher oder englischer Sprache verfügbar sein. Eine farbige Videokamera mit variablem Bildfeld für die Probenpositionierung und Online-Überwachung ist ebenfalls Teil der Anforderungen. Das Gerät muss CE-zertifiziert sein und die Lieferung erfolgt per Luftfracht DDP. Eine Ersatzteilversorgung für 10 Jahre ab Kaufdatum sowie eine zweitägige Vor-Ort-Schulung für drei Mitarbeiter sind ebenfalls Bestandteil der Beschaffung. Das Starter-Kit soll zwei Diamantmessspitzen mit 2 µm und 12,5 µm Radius enthalten. Die Eignungskriterien umfassen eine langjährige Marktpräsenz, Kunden im Forschungs- und Industrieumfeld, mindestens fünf Referenzkunden aus dem Hochschul-/Universitätsbereich, den Unterhalt eines Applikationslabors und eine kostenlose Service-Hotline mit kurzen Reaktions- und Servicezeiten. Die Wertung der Angebote erfolgt zu 60% nach Preis, 20% nach Optionen und 20% nach Wartung und Support. Eine Besichtigung von Geräten oder Applikationslaboren ist möglich.