Organik-MBE-Quadrupol Massenspektrometer

Gegenstand der Beschaffung ist ein Quadrupol-Massenspektrometer (QMS) zur Integration in eine Organik-Molekularstrahlepitaxieanlage (MBE). Das QMS soll für verschiedene analytische Aufgaben eingesetzt werden, darunter die Restgasanalyse zur Überwachung der Prozessumgebung, die Durchführung von Lecktests zur Identifizierung von Undichtigkeiten im Vakuumsystem und Line-of-Sight-Untersuchungen zur Charakterisierung der Materialdeposition. Das zu beschaffende QMS muss zwingend bestimmte technische Spezifikationen erfüllen, um die geforderten Analyseaufgaben präzise und zuverlässig durchführen zu können. Hierzu gehört ein Anschlussflansch vom Typ DN CF 40 zur einfachen Integration in das bestehende Vakuumsystem der MBE-Anlage. Der Analysator des QMS muss ausheizbar sein bis zu einer Temperatur von 200°C, um Kontaminationen zu vermeiden und die Messgenauigkeit zu gewährleisten. Der detektierbare Massenzahlbereich des QMS muss mindestens 1-300 amu umfassen, um ein breites Spektrum an organischen Molekülen erfassen zu können. Weiterhin ist die Ausstattung des QMS mit einem Sekundärelektronenvervielfacher (SEV / SEM) und einem Faraday-Detektor erforderlich, um sowohl empfindliche Messungen geringer Konzentrationen als auch quantitative Analysen durchführen zu können. Die Ionenquelle des QMS muss als offene Ionenquelle ausgeführt sein, um eine effiziente Ionisierung der Analyten zu gewährleisten. Als Filamentmaterial ist Yttrium-Iridium gefordert, um eine hohe Lebensdauer und Stabilität der Ionenquelle zu gewährleisten. Die Lieferung des QMS muss vollständig inklusive aller erforderlichen Kabel und Software erfolgen, um eine sofortige Inbetriebnahme und Integration in die bestehende Datenerfassung und -auswertung zu ermöglichen. Die Lieferung hat gemäß Incoterms 2020 DAP Paul-Drude-Institut für Festkörperelektronik, Leibniz-Institut im Forschungsverbund Berlin e.V, Hausvogteiplatz 5-7, 10117 Berlin zu erfolgen.