Röntgenfluoreszenz-Spektrometer für Spurenanalyse und Tiefenprofilmessung

Die Universität Ulm beabsichtigt die Beschaffung eines Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz-Spektrometers (TXRF) mit der zusätzlichen Fähigkeit zur Röntgenfluoreszenzanalyse mit streifendem Einfall (GIXRF). Dieses Gerät wird für die Spurenbestimmung von Elementen, die Tiefenprofilanalyse und die Charakterisierung von dünnen Schichten bis zu einigen hundert Nanometern sowie von Nanopartikeln benötigt. Der Messaufbau soll eine horizontale Probeneinführung und -messung erlauben, um die Entwicklung neuer Methoden und Messzellen, auch für In-situ-Messungen, zu unterstützen. Für eine umfassende Elementanalyse von Natrium bis Uran soll das Spektrometer über zwei Anregungsquellen verfügen: eine Mo-K-Quelle (17,5 keV) und eine W-Brems-Quelle (35 keV). Eine optionale Stickstoff- und/oder Heliumspülung ist ebenfalls vorgesehen. Das Gerät muss eine höchstmögliche Sensitivität erreichen, mit einem angestrebten Detektionslimit für Nickel von unter 2 pg. Dies wird durch die Ausstattung mit einem Silikondriftdetektor mit einer großen aktiven Oberfläche von 100 mm2 gewährleistet. Ein integrierter Probenwechsler soll die automatische und kontaminationsarme Untersuchung von mindestens 30 Proben ermöglichen. Die erforderliche Soft- und Hardware muss das Editieren von Methoden, Kalibrierungen, Messaufträgen und Wiederfindungen sowie die Spektren- und statistische Auswertung unterstützen. Die Software soll zudem die automatische Speicherung aller Metadaten und ein Nutzermanagement bieten. Weiterhin ist Zubehör für die Ultraspurenanalyse in verschiedenen Probenarten sowie für die kontaminationsfreie Aufbewahrung und Reinigung von Probenträgern gefordert. Eine individuelle, vor Ort durchgeführte Nutzerschulung durch einen Spezialisten ist essenziell, um eine sichere und umfassende Nutzung des Geräts zu gewährleisten. Das Gerät soll die Bestimmung aller Elemente von Na bis U ermöglichen. Die optionale GIXRF-Funktionalität ist für die Tiefenprofilanalyse und die Charakterisierung dünner Schichten von Bedeutung. Die horizontale Probeneinführung ist wichtig für die Methodenentwicklung und die Untersuchung verschiedener Probenarten, einschließlich Pulverproben. Die Software muss flexibel sein und den Import/Export von Daten in gängigen Formaten (ASCII, CSV, TXT) sowie Grafiken (JPG, PNG, TIFF) unterstützen. Kostenfreie Software-Updates während der Lebensdauer des Systems sind wünschenswert. Das Angebot muss verschiedene Probenträgersets für unterschiedliche Probenarten wie Quarz, Saphir, Siliziumwafer und Mikroskopieträger beinhalten. Ebenso ist Zubehör wie Waschkassetten und Probentrocknungs- bzw. Aufbewahrungsmöglichkeiten für die Ultraspurenanalyse gefordert. Die Dokumentation muss vollständige Bedienungs- und Wartungsanleitungen für alle Komponenten und die Software, einen Wartungsplan, eine Ersatzteilliste und Prüfprotokolle für den Strahlenschutz umfassen. Die Abnahme erfolgt nach Installation und Einweisung, wobei die Einhaltung der garantierten Spezifikationen, insbesondere des Detektionslimits für Nickel, nachgewiesen werden muss. Die Garantiezeit beträgt zwei Jahre. Der Endpreis für das Gesamtsystem inklusive Zubehör, Schulung, Lieferung und Inbetriebnahme ist auf maximal 321.000 € (inkl. MwSt.) begrenzt.