Zwei Waferprober für Millimeterwellen-Schaltungscharakterisierung
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686, München
Veröffentlicht
Angebotsfrist
10.06.25
14.07.25, 07:30
Stichwörter
- Waferprober
- Millimeterwellen
- Schaltungscharakterisierung
- S-Parameter
- Präzisionsmessung
Zusammenfassung
Beschaffung von zwei Waferprober-Systemen für 300mm Wafer zur automatisierten Charakterisierung von Schaltungen im Millimeterwellenbereich bis ca. 250 GHz. Die Systeme müssen höchste Positioniergenauigkeit für 10µm Kontaktflächen über die gesamte Wafer-Fläche bieten. Erforderlich sind automatische Höhenkorrektur für Wafer-Variationen von ±10µm sowie Temperaturregelung des Chucks.
ZEITPLAN
- Bekanntmachung10.06.25
- Heute18.06.25
- Abgabefrist14.07.25
- Veröffentlichungsende14.07.25
- Laufzeitende14.02.26
AUSSCHREIBUNG
Reichweite:EU
Vergabeart:Offenes Verfahren
Vergabeverordnung:VgV
Leistung:Lieferleistungen
Klassifizierung:
Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
Zuschlagskriterien:Technische Ausführung (65%), Preis (35%)
VORAUSSETZUNGEN
Finanziell:
- Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre
Rechtlich:
- Bei Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen und ihre Eignung nachzuweisen
Weitere Ausschreibungen zu:

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