Rasterelektronenmikroskop mit EBSD-Kamera für RWTH Aachen

Im Detail umfasst die Beschaffung ein Rasterelektronenmikroskop (REM) mit einer Schottky-Feldemissionskathode. Die Beschleunigungsspannung soll minimal im Bereich von 0,2-30 kV einstellbar sein. Gefordert wird eine magnetfeldfreie Auflösung von max. 0,9 nm bei 15 kV (ohne Anlegen von Gegenspannung an der Probe). Auch bei geringer Beschleunigungsspannung soll eine hohe Auflösung gewährleistet sein (1kV ≤ 1,3 nm und 500V ≤ 1,9 nm, jeweils ohne Gegenspannung). Das REM muss mit einem Sekundärelektronen-Detektor (SE), einem In-lense-/In beam- SE-Detektor und einem Rückstreuelektronendetektor (BSE) ausgestattet sein. Magnetfeldfreiheit unterhalb der Elektronenoptik bei allen Abbildungsbedingungen sowie eine maximale Drift der Strahlstromstabilität von 0,2%/h sind weitere Anforderungen. Die Probenkammer soll eine fünfachsige Probenbühne mit kontinuierlicher 360°-Drehung und motorisierten Achsen beinhalten. Der Verfahrbereich der Probenbühne soll minimal xy: 130 mm, z: 100 mm und der Neigungswinkel -20° bis 90° betragen. Die Untersuchung großer Bauteile mit einem maximalen Probendurchmesser von 160 mm muss möglich sein. Zur Bedienbarkeit gehört eine Farbkamera mit korrelativer Funktionalität zur Probennavigation (Auflösungsklasse min. 5 MP) sowie eine Bedienkonsole in deutscher Sprache. Der Steuer-PC soll mit Windows 10 Enterprise oder einer höheren Version ausgestattet sein, inklusive eines kostenneutralen Updates auf Windows 11 Enterprise, sobald verfügbar. Ein Monitor mit einer Mindestgröße von 24'' ist ebenfalls erforderlich. Der Bildspeicher soll ≥ 32000 x 24000 Pixel betragen. Die Nachbearbeitung der Bilder hinsichtlich Helligkeit/Kontrast muss institutsweit möglich sein, ebenso wie das Zusammensetzen von Einzelbildern zu einem Gesamtbild. An Peripheriegeräten werden eine ölfreie Scrollpumpe, eine Schallschutzbox für die Vorpumpe (Geräuschreduktion 15dB) und eine Luftkühlung mit eigenem Kühler benötigt. Das EBSD-System Symmetry S3 (Fa. Oxford) muss mit dem vorhandenen EDX-System (Oxford Explore 30) kompatibel sein. Die EBSD Software AztecHKL Package Expert (1 Live-Lizenz auf dem Messrechner, zusätzlich 2 Offline-Lizenzen) ist erforderlich. Ein Forescatter-Detektor System mit 5 Dioden (2 für BSE, 3 für FSE) soll den simultanen Einzug von Bildern mit Z-Kontrast und Orientierungskontrast unter EBSD-Bedingungen ermöglichen. Eine 2-tägige EBSD-Schulung beim Hersteller für min. 1 Person ist ebenfalls Bestandteil der Beschaffung. Abschließend ist der Umbau des vorhandenen EDX-Detektors (Oxford Explore 30) auf das neu zu beschaffende Rasterelektronenmikroskop inklusive Inbetriebnahme gefordert.