Rohröfen für hochtemperaturtechnische Anwendungen - Universität Paderborn

Die Universität Paderborn beabsichtigt die Beschaffung von zwei präzise regelbaren Rohröfen für hochtemperaturtechnische Anwendungen in der Forschung. Diese Öfen sind für Prozesse wie Diffusion, Annealing und Oxidation konzipiert und müssen Proben bis zu einer Größe von 10 cm (4 Zoll) aufnehmen können. Insbesondere sind Materialien wie Lithiumniobat, Dünnschichtlithiumniobat und Silizium sowie andere kristalline Materialien zu verarbeiten. Eine exakte Temperaturführung und -stabilität ist essenziell, insbesondere im Bereich bis maximal 1300 °C. Die Öfen müssen automatisch steuerbar sein und den Betrieb unter verschiedenen Gasatmosphären sowie Vakuum ermöglichen. Das System wird schlüsselfertig geliefert und besteht aus zwei Diffusionsöfen, Untergestellen, einem Bedien-Interface und einer Vakuumpumpe. Die Inbetriebnahme erfolgt im Reinraum der Universität. Die elektrische Anbindung kann einphasig (220-240 V, 50 Hz) oder dreiphasig (360-440 V, 50 Hz) erfolgen, wobei die maximale Leistung 36 kW nicht überschreiten darf. Das Netto-Gesamtgewicht pro Ofen darf 500 kg nicht übersteigen. Das angebotene System darf nicht zu den ersten verkauften und ausgelieferten Systemen gehören. Die einzelnen Komponenten des Systems müssen spezifiziert werden. Der Lieferant ist für die Inbetriebnahme verantwortlich. Jeder Ofen ist auf einem Unterbau montiert, an dem alle Komponenten befestigt sind. Die Öfen müssen aufklappbar sein, um einen einfachen Wechsel des Ofenrohrs zu ermöglichen. Ein Arbeitsrohr aus Quarzglas (max. Temperatur >= 1100 °C) ist pro Ofen im Lieferumfang enthalten. Der Innendurchmesser des Ofenrohrs muss mindestens 150 mm betragen. Der Gasanschluss erfolgt über einen außenkalibrierten Ø 6 mm Schlauch. Die Ofenisolierung muss aus einem ungefährlichen, nicht krebserregenden Material bestehen. Die Flansche der Öfen sind wassergekühlt, und ein Kühlkreislauf inklusive Wasser-Wasser-Rückkühler wird mitgeliefert, der den Betrieb beider Öfen gleichzeitig ermöglicht. Die Temperaturabweichung im Arbeitsrohr darf bei 1100 °C über eine Länge von mindestens 350 mm maximal ±5 K betragen. Über eine Länge von mindestens 100 mm darf die Abweichung maximal ±3 K betragen. Die Temperatur im Arbeitsrohr muss messbar sein, und die Aufheizrampe muss einstellbar sein. Beide Öfen müssen für Daueranwendungen (mehrmals wöchentlich 12 Stunden) zwischen 400 °C und 1060 °C geeignet sein. Es können gleichzeitig mindestens drei nicht-brennbare Prozessgase (Argon, Stickstoff, Sauerstoff) in das Ofenrohr eingeleitet werden. Der Gaseinlass erfolgt automatisch und computergesteuert, wobei die Durchflussmenge über einen Massendurchflussregler gesteuert wird, der den Bereich von 1-10 l/h abdeckt. Die Öfen sind mit einer gemeinsamen Vakuumpumpe ausgestattet, die eine Evakuierung auf einen Druck von < 5 x 10⁻² mbar ermöglicht und einfach zwischen den Öfen umgebaut werden kann. Bei der Vakuumpumpe handelt es sich um eine ölfriee Scrollpumpe. Das System wird mit einem Computer, Monitor und Peripheriegeräten geliefert, über die beide Öfen gleichzeitig gesteuert werden können. Das bevorzugte Betriebssystem ist Windows 10 oder 11, mit vorinstallierter Software und unbefristeter Lizenz. Die Betriebssoftware muss alle Systemfunktionen steuern und Service- sowie Wartungsroutinen unterstützen. Der gesamte Prozess kann aufgezeichnet und ausgewertet werden. Es können verschiedene Rezepte zur Ofensteuerung erstellt, gespeichert und geladen werden. Technische Beschreibungen und Funktionsbeschreibungen sind in englischer und deutscher Sprache als PDF-Dokument auf Datenträger beizufügen. Ein Wartungsplan, ein kompletter elektrischer Schaltplan sowie Betriebsanleitungen von Zukaufkomponenten sind ebenfalls erforderlich. Alle sicherheitsrelevanten Abschnitte müssen in deutscher Sprache vorliegen. Ofen 1 muss auf einer Stellfläche von maximal 2,2 x 1,5 m² platziert und bedient werden können, mit einer maximalen Höhe von 1,8 m. Die Maximaltemperatur im Arbeitsrohr von Ofen 1 beträgt mindestens 1300 °C. Ofen 2 muss auf einer Stellfläche von maximal 3,0 x 1,5 m² platziert und bedient werden können, mit einer maximalen Höhe von 1,8 m. Die Maximaltemperatur im Arbeitsrohr von Ofen 2 beträgt mindestens 1250 °C. Die Heizzone von Ofen 2 ist automatisch verschiebbar, um eine schnellere Kühlung zu ermöglichen. Das Angebot umfasst den Transport nach Paderborn, das Abladen, Einbringen zum Aufstellort im Labor, die Aufstellung, einen erfolgreichen Funktionstest, Schulung im Umgang mit der Anlagensteuerung und eine Sicherheitsunterweisung. Die erfolgreiche Abnahme wird in einem Abnahmeprotokoll festgehalten. Die Lieferung der Anlage muss bis zum 30.11.2025 erfolgen. Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung müssen spätestens zwei Wochen nach Lieferung abgeschlossen sein. Der Bieter muss darlegen, wie der technische Support langfristig (> 10 Jahre) sichergestellt wird. An Standardwerktagen ist eine telefonische Erreichbarkeit zwischen 9:00 und 15:30 Uhr gewährleistet. Der Service wird durch eine Serviceniederlassung in Europa mit deutschsprachigen Mitarbeitern geleistet. Der Lieferant muss eine Service-Hotline betreiben. Die telefonische Reaktionszeit soll maximal 1 Tag betragen, die Servicereaktionszeit maximal 2 Arbeitstage.