Hochtemperatur-Glühofen für Wafer-Bearbeitung bis 1000°C
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
80686, München
Veröffentlicht
Angebotsfrist
14.01.26
16.02.26, 08:30
Steckbrief
- Hochtemperatur-Glühofen
- Annealing Furnace
- Wafer-Bearbeitung
- Thermische Bearbeitung
- 1000°C
- N2
- O2
- Prozessgase
Zusammenfassung
Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung eines Hochtemperatur-Glühofens für die thermische Bearbeitung von 100- und 150-mm-Wafern. Der Temperaturbereich soll von Raumtemperatur bis zu 1000°C reichen. Das System soll bei Atmosphärendruck mit den Prozessgasen N2 und O2 arbeiten können. Zusätzlich sind Optionen für Kontaminations- und Partikelprävention, manuelle Steuerung sowie Remote-Wartung verfügbar.
Zeitplan
Ausschreibung
Reichweite:
EU
Vergabeart:
Vergabeverordnung:
Leistung:
Lieferleistungen
Klassifizierung:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Zuschlagskriterien:
Technik (65%), Preis (35%)
Erfüllungsort:
Tullastr. 72, 79108 Freiburg, Deutschland
Abgabe
Abgabeform:
Elektronisch
Angebotssprachen:
Deutsch
Anzahl der Angebote:
Mehrere Hauptangebote sind zulässig.Nebenangebote sind nicht zulässig.
Voraussetzungen
Referenzen:
- Angabe von mindestens drei in Art und Umfang vergleichbaren Referenzprojekten aus den letzten drei Jahren, jeweils mit Kurzbeschreibung des Geräts, Angabe des Auftraggebers (Name) und Jahresangabe der Leistungserbringung
Finanziell:
- Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre
Rechtlich:
- Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach §123 und § 124 GWB
- Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014
Sonstige:
- Darstellung der Firma: Gründungsjahr, wichtige Meilensteine des Unternehmens, Anzahl der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche Leistungen werden erbracht
- Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der Eignungskriterien nachzuweisen
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