Upgrade Nanofocus Topographie-Messsystem mit automatischem Wafer-Handling
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
91058, Erlangen
Veröffentlicht
Angebotsfrist
18.01.26
23.02.26, 09:00
Steckbrief
- Prozessüberwachung
- Nanofocus
- Topographie-Messsystem
- Wafer-Handling
- SEMI Standard
- FOUP
- Automatisierung
- Messtechnik
Zusammenfassung
Upgrade des bestehenden Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus Topographie-Messsystem) am Fraunhofer IPMS CNT. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handling-System für Wafer in einer separat abgeschlossenen Umgebung. Das System kann Wafer von einem SEMI 300 mm FOUP zum bestehenden Messgerät handhaben und 200 mm Wafer in einen geeigneten Adapter einführen.
Zeitplan
Ausschreibung
Reichweite:
EU
Vergabeart:
Vergabeverordnung:
Leistung:
Lieferleistungen
Klassifizierung:
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
Zuschlagskriterien:
Qualitätskriterium - Technische Ausführung (65%), Preiskriterium - Preis (35%)
Erfüllungsort:
Dresden, Deutschland
Abgabe
Abgabeform:
Elektronisch
Angebotssprachen:
Deutsch
Anzahl der Angebote:
Mehrere Hauptangebote sind nicht zulässig.Nebenangebote sind nicht zulässig.
Voraussetzungen
Finanziell:
- Umsatz der letzten 3 Jahre
Rechtlich:
- Eigenerklärung Nichtvorliegen Ausschlussgründe
- Eigenerklärung Russland-Sanktionen VO 833-2014
Sonstige:
- Firmenprofil mit Gründungsjahr, Meilensteinen, Mitarbeiterzahl und Leistungsspektrum
- Schriftliche Erklärung der Bank für Bankbürgschaft (falls erforderlich)
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