Beschaffung einer integrierten Nanoprobing-Plattform

Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme eines in-situ Nanoindenter für Rasterelektronenmikroskop (REM)

Das Max-Planck-Institut für Plasmaphysik beschafft einen in-situ Nanoindenter für ein vorhandenes Rasterelektronenmikroskop vom Typ Zeiss Auriga 60. Das System soll die quantitative mechanische Charakterisierung von Materialien auf der Mikro- und Nanoskala direkt im REM ermöglichen. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, Aufstellung, Inbetriebnahme sowie die Einweisung und Schulung des Personals. Zudem sind eine zweijährige Gewährleistung und eine umfassende technische Dokumentation gefordert.

Deinstallation, Verlagerung, Wiederinstallation und Inbetriebnahme eines DualBeam-FIB-SEM-Systems

Gegenstand der Beschaffung ist die Deinstallation, Verlagerung an einen neuen Aufstellort, Wiederinstallation, der Wiederanschluss, die Inbetriebnahme, Kalibrierung und Leistungsabnahme eines vorhandenen DualBeam-FIB-SEM/FIB-REM-Systems (Hersteller TESCAN GmbH, Modell GAIA3 GMH). Einbezogen sind vorhandene Systemkomponenten wie Kleindiek-Mikromanipulator, Oxford-EDX-Detektor und TOFWERK-TOF-SIMS. Zum Leistungsumfang gehören außerdem Standort- und Raummessungen hinsichtlich Bodenschwingungen, akustischer Einflüsse sowie magnetischer und elektromagnetischer Störfelder. Nach der Wiederinstallation sind die technische Integrität und die bisherige Geräteleistung durch dokumentierte Prüfungen nachzuweisen.

Raman Microscope System

Beschafft wird ein vollautomatisiertes konfokales Raman-/Photolumineszenz-Mikroskopsystem für das Max-Planck-Institut für Struktur und Dynamik der Materie. Das System dient der Untersuchung von Quantenmaterialien und muss unter anderem Raman-Spektroskopie im Niedrigfrequenzbereich sowie Photolumineszenz-Spektroskopie ermöglichen. Zum Lieferumfang gehören neben dem Mikroskop auch die Installation sowie eine umfassende Anwenderschulung. Das System muss zudem für spätere Erweiterungen, etwa durch ein AFM/SPM-Modul, vorbereitet sein.

5-Achs-Bearbeitungszentrum

Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft ein 5-Achs-Bearbeitungszentrum für hochdynamische und hochgenaue Fräs- und Bohrbearbeitungen. Das System ist für Forschungs- und Entwicklungszwecke sowie für die Einzelteil- und Kleinserienfertigung vorgesehen. Es muss eine offene Steuerungsumgebung bieten, die Programmierung von Zyklen und Applikationen ermöglicht sowie Funktionen zur Datenerfassung und -verarbeitung unterstützt. Die Lieferung umfasst zudem die Montage, Inbetriebnahme und Endabnahme am Standort Chemnitz.

Manipulator-System für Computertomographen in Aachen

Das Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT beschafft ein motorisiertes 4-Achs-Manipulatorsystem für einen Computertomographen. Der Lieferumfang umfasst neben dem Manipulator die Einbindung und Halterung eines bauseitig gestellten Flachdetektors sowie die notwendigen Steuerungs- und Auswertesoftwarekomponenten. Das System ist für den Betrieb mit einer externen Röntgenquelle in einer Strahlenschutzkabine vorgesehen. Die Installation erfolgt auf einem bestehenden optischen Tischsystem.

Vollautomatisches In-line-OCD- und Dimensionsform-Messsystem in Dresden

Gegenstand der Beschaffung ist ein vollautomatisches Messgerät zur Erfassung von Critical-Dimension-Strukturen (CD), Schichtdicken und Cu-Dishing auf 300-mm- und 200-mm-Wafern (IZM-133.3). Die Investition erweitert die Messkapazitäten für die automatisierte, zerstörungsfreie Messung kleinerer Strukturgrößen und der Oberflächentopografie. Das System ist kompatibel mit 3D-Wafer-Stapeln mit starker Verformung sowie Silizium- und Glassubstraten mit Dicken bis zu 2,5 mm und führt Lade-, Mess- und Rückführprozesse aus Front-Opening Unified Pods (FOUPs) vollautomatisch aus. Der Einsatzort befindet sich im Reinraum in Dresden.

Lieferung und Installation von Die-Bonder und Photonic-Bonder

Beschafft wird ein Anlagencluster bestehend aus einem Die-Bonder und einem Photonic-Bonder für die hochpräzise Montage elektronischer und photonischer Komponenten. Die Anlagen sind für Forschungs- und Entwicklungszwecke sowie für die Kleinserienfertigung konzipiert und zeichnen sich durch hohe Positioniergenauigkeit und Prozessstabilität aus. Ein wesentlicher Fokus liegt auf der Modularität und der gegenseitigen Kompatibilität der beiden Systeme hinsichtlich Prozessmodulen, Werkzeugen und Software. Beide Anlagen müssen für den Einsatz in Reinraumumgebungen der Klassen ISO 4 bis ISO 6 geeignet sein.

Computergesteuertes Schleif-, Läpp- und Poliersystem

Beschafft wird ein computergesteuertes Schleif-, Läpp- und Poliersystem für die wissenschaftliche Materialprobenpräparation. Das System muss für die Bearbeitung von Halbleitern, Oxiden, Keramiken und Metallen geeignet sein. Ziel ist die reproduzierbare Herstellung planparalleler Proben mit hoher Oberflächenqualität und definierter Enddicke. Die Anlage muss automatisierte Prozessführungen unterstützen und eine präzise Dickenkontrolle ermöglichen. Die Lieferung umfasst zudem die Installation, Inbetriebnahme und Einweisung vor Ort.

Mikro-Nanoindentationssystem für die TU Hamburg

Gegenstand der Beschaffung ist die Lieferung eines Mikro-Nanoindentationssystems gemäß Leistungsbeschreibung. Die Ausführung erfolgt an der TU Hamburg.

Lieferung einer Ultrakurzpuls-Laseranlage für Forschung

Beschafft wird eine Ultrakurzpuls-Laseranlage für die hochschulübergreifende und interdisziplinäre Forschung in den Bereichen Sensorik, Aktorik, Medizintechnik und KI-basierte Materialbearbeitung. Das System muss eine präzise Mikrostrukturierung verschiedener Materialien sowie Dünnschichtablation ermöglichen. Die Anlage ist als 6-Achs-System konzipiert und erfordert eine zentrale Anlagensteuerung. Zum Lieferumfang gehören neben der Hardware auch die Inbetriebnahme, Dokumentation, Mitarbeiterschulung sowie ein fünfjähriges Wartungs- und Servicepaket.