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Preise

Kauf einer DRIE/ RIE-Anlage (Plasmaätzanlage)

Auftraggeber

Westsächsische Hochschule Zwickau

08056, Zwickau

Veröffentlicht

04.06.26

Angebotsfrist

10.07.26, 10:00

Steckbrief

DRIE
RIE
Plasmaätzanlage
Wafer
Reinraum

Zusammenfassung

Beschafft wird eine neue DRIE/RIE-Anlage (Plasmaätzanlage) für Forschungs- und Lehrzwecke. Die Leistung umfasst die Lieferung, die Softwareinstallation sowie die Einweisung des Personals. Die Anlage muss für die Verarbeitung von 100mm und 150mm Wafern ausgelegt sein und spezifische Prozessparameter für das Silizium-Tiefenätzen sowie das Ätzen von Dielektrika erfüllen. Zudem ist die Einhaltung strenger technischer Anforderungen, wie etwa eine separate Vakuumschleuse und eine He-Rückseitenkühlung, gefordert. Die Installation muss in einem Reinraum der Klasse ISO 5 möglich sein.

Zeitplan

Bekanntmachung03.06.26
Heute06.06.26
Bieterfragenfrist03.07.26
Abgabefrist10.07.26
Veröffentlichungsende10.07.26

Ausschreibung

Reichweite:
EU
Vergabeart:
Offenes Verfahren
Vergabeverordnung:
VgV
Leistung:
Lieferleistungen
Klassifizierung:
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Halbleiter
Zuschlagskriterien:
Preiskriterium (30.0), Erfüllung der Leistungsparameter (60.0), Lieferzeit (10.0)
Erfüllungsort:
Kornmarkt 1, 08056 Zwickau, DED45, Deutschland

Auftraggeber

Name
Westsächsische Hochschule Zwickau
Adresse
Kornmarkt 108056 ZwickauDeutschland
Website
https://www.whz.de
Kontakt
Beschaffungswesen@whz.de03755361131

Abgabe

Abgabeform:
Elektronisch
Angebotssprachen:
Deutsch
Anzahl der Angebote:
Mehrere Hauptangebote sind nicht zulässig.Nebenangebote sind nicht zulässig.

Voraussetzungen

Sonstige:
  • Nachweis über Vorhandensein eines Applikationslabors bei Bieter

Dokumente

Dateiname

  • FB 02 - Bewerbungsbedingungen VgV.docx

    Richtlinien
    30 KB
    3 Seiten
    Festlegung der Bedingungen für die Teilnahme am Vergabeverfahren, einschließlich Hinweisen zu Unklarheiten, Wettbewerbsbeschränkungen und formalen Anforderungen an das Angebot.

  • FB 06 - Angaben zur Leistung.docx

    Leistungsumfang
    32 KB
    5 Seiten
    Übersicht über die Leistungsbestandteile, die Rangfolge der Vertragsbestandteile sowie detaillierte Vorgaben zum Bestellablauf und den Inhalten von Auftragsbestätigungen.

  • FB 01 - Aufforderung Abgabe Angebot.docx

    Ausschreibung
    37 KB
    3 Seiten
    Offizielle Einladung zur Angebotsabgabe für eine Plasmaätzanlage mit Angaben zu Fristen, Losvergabe, Nebenangeboten und den grundlegenden Wertungskriterien.

  • FB 07 - Einkaufsbedingungen der WHZ .docx

    Vertragliches
    22 KB
    2 Seiten
    Allgemeine Einkaufsbedingungen der Westsächsischen Hochschule Zwickau, die rechtliche Rahmenbedingungen wie Nachlieferpflichten, Unfallverhütungsvorschriften und Lieferkonditionen regeln.

  • FB 26 - Erklärung Bietergemeinschaft - bei Bedarf.docx

    Verwaltung
    38 KB
    2 Seiten
    Formblatt zur Benennung der Mitglieder einer Bietergemeinschaft, des bevollmächtigten Vertreters sowie der geplanten Aufteilung der Leistungsbereiche.

  • FB 24 - Erklärung Unteraufträge Eignungsleihe - bei Bedarf.docx

    Verwaltung
    39 KB
    1 Seite
    Formular zur Angabe beabsichtigter Unteraufträge oder der Inanspruchnahme von Kapazitäten anderer Unternehmen zum Nachweis der Eignung.

  • FB 27 - Leistungsbeschreibung_OV 09-26_DRIE_Anlage.pdf

    Leistungsumfang
    592 KB
    5 Seiten
    Detaillierte technische Spezifikationen für die zu liefernde Plasmaätzanlage, einschließlich Anforderungen an Wafergrößen, Prozessgase und Anlagenkomponenten.

  • FB 12 - Information Datenschutz.docx

    Vertragliches
    37 KB
    2 Seiten
    Informationen zur Verarbeitung personenbezogener Daten im Rahmen des Vergabeverfahrens gemäß der Datenschutz-Grundverordnung (DSGVO).

  • FB 05 - Übersicht der Bewertungskriterien.docx

    Richtlinien
    29 KB
    2 Seiten
    Detaillierte Aufschlüsselung der Zuschlagskriterien (Preis, Leistung, Lieferzeit) und Erläuterung des Punktesystems zur Ermittlung des wirtschaftlichsten Angebots.

  • FB 20 - Eigenerklärung zur Eignung des Bieters.docx

    Verwaltung
    50 KB
    5 Seiten
    Eigenerklärung des Bieters zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen wie schweren Verfehlungen, Insolvenzverfahren oder Verstößen gegen das Mindestlohngesetz.

  • FB 25 - Verpflichtungserklärung Unterauftragnehmer Eignungsleiher - bei Bedarf.docx

    Verwaltung
    76 KB
    1 Seite
    Rechtsverbindliche Erklärung von Drittunternehmen, dem Bieter im Falle der Auftragsvergabe die notwendigen Kapazitäten oder Leistungen zur Verfügung zu stellen.

  • FB 09 - Liste einzureichender Unterlagen zur Ausschreibung.docx

    Verwaltung
    28 KB
    2 Seiten
    Checkliste der Dokumente, die entweder beim Bieter verbleiben oder zwingend mit dem Angebot eingereicht werden müssen.

  • FB 10 - Erklärung gesetzlicher Mindestlohn.docx

    Vertragliches
    19 KB
    1 Seite
    Verpflichtungserklärung des Auftragnehmers zur Einhaltung der Vorschriften des Mindestlohngesetzes (MiLoG) und des Arbeitnehmer-Entsendegesetzes.

  • FB 02.1 - Angaben zum Vergabeverfahren VgV.docx

    Richtlinien
    57 KB
    7 Seiten
    Zusätzliche Informationen zum Verfahrensablauf, zur Verfahrensart (Offenes Verfahren) und zur Kommunikation über die Vergabeplattform.

  • FB 23 - Bietererklärung Russlandbeziehungen.docx

    Vertragliches
    31 KB
    3 Seiten
    Erklärung zur Einhaltung der Sanktionsvorschriften im Zusammenhang mit Russland gemäß der Verordnung (EU) Nr. 833/2014.

  • FB 04 - Besondere Vertragsbedingungen.docx

    Vertragliches
    32 KB
    2 Seiten
    Festlegung projektspezifischer Vertragsdetails wie Ausführungsort, verbindliche Lieferfristen und Regelungen zu Vertragsstrafen bei Verzug.

  • FB 08 - VOL Teil B.docx

    Vertragliches
    43 KB
    3 Seiten
    Allgemeine Vertragsbedingungen für die Ausführung von Leistungen (VOL/B), die grundlegende rechtliche Regelungen für öffentliche Aufträge enthalten.

  • FB 21 - Angebotsschreiben.docx

    Finanzielles
    41 KB
    3 Seiten
    Formblatt für das formelle Angebotsschreiben inklusive Bieterangaben und einer Liste der beigefügten Anlagen.

FAQ

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