Upgrade 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber WxZ Sprint Configuration

Auftraggeber

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

15236, Frankfurt (Oder)

Veröffentlicht

04.06.26

Angebotsfrist

07.07.26, 12:00

Steckbrief

CVD

Wolfram

Applied Materials

AMAT

WxZ Sprint

Gasverteilungssystem

Hardware

Software

Zusammenfassung

Gegenstand der Ausschreibung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm WxZ Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD) Systems des Herstellers Applied Materials Inc. auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Die Arbeiten umfassen insbesondere die Modifikation des Gasverteilungssystems für ein kontrolliertes Umschalten der Prozessgase WF6 und SiH4 zwischen Abgasleitung und Prozesskammer. Zudem ist die Installation von Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken von bis zu 300 Torr erforderlich. Das Upgrade dient der Realisierung gepulster Wolfram-Abscheidungsprozesse für High Aspect Ratio Gap-Fill Anwendungen.

Zeitplan

Bekanntmachung03.06.26

Heute06.06.26

Bieterfragenfrist26.06.26

Abgabefrist07.07.26

Veröffentlichungsende07.07.26

Ausschreibung

Reichweite:

EU

Vergabeart:

Verhandlungsverfahren mit Vergabeverhandlung

Vergabeverordnung:

VgV

Leistung:

Lieferleistungen

Klassifizierung:

Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Mikroelektronische Maschinen und Geräte

Erfüllungsort:

Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder), DE403, Deutschland

Auftraggeber

Name

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Adresse

Im Technologiepark 2515236 Frankfurt (Oder)Deutschland

Website

—

Kontakt

Beschaffungvergabestelle@ihp-microelectronics.com+49 335-5625337Fax: +49 335-5625333

Abgabe

Abgabeform:

Elektronisch

Angebotssprachen:

Deutsch

Anzahl der Angebote:

Mehrere Hauptangebote sind nicht zulässig.Nebenangebote sind nicht zulässig.

Voraussetzungen

Referenzen:

Mindestens 2-3 relevante Referenzprojekte im Bereich CVD-System-Upgrades oder Halbleiteranlagenmodifikationen

Finanziell:

Bank guarantee: A bank guarantee must be provided for the amount of the first installment. The guarantee should be issued in English and may only expire after acceptance.

Sonstige:

Beschreibung des vorgesehenen Projektteams (optional in dieser Phase)
Eigenerklärung zur Eignung und Leistungsfähigkeit
Unternehmensprofil (technische Schwerpunkte, Kernkompetenzen)
Beschreibung der relevanten technischen Expertise

Dokumente

Dateiname

5.3 Vereinbarung Mindestanforderungen BbgVergG.pdf
Vertragliches
25 KB
3 Seiten
Vereinbarung zur Einhaltung der Mindestanforderungen nach dem Brandenburgischen Vergabegesetz, insbesondere zur Vergütung der Beschäftigten und zur Vorlage von Entgeltnachweisen.
Competetion of Participation_IHP-2026-018.pdf
Richtlinien
274 KB
2 Seiten
Prequalification document for the upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD system, outlining the scope of work, technical requirements, and minimum selection criteria for participants.
04_03 ZVB-Bbg_vol08 .pdf
Vertragliches
25 KB
3 Seiten
Zusätzliche Allgemeine Vertragsbedingungen des Landes Brandenburg (ZVB-Bbg) für die Ausführung von Leistungen, inklusive Regelungen zu Preisen und Ausführungsbestimmungen.
04_01 EKB-2024.pdf
Vertragliches
125 KB
4 Seiten
Allgemeine Einkaufsbedingungen der IHP GmbH für die Beschaffung von Lieferungen und Leistungen, Stand Dezember 2024.
Eigenerklaerung EU-Sanktionen VO 2022_576 - 2022-05.docx
Verwaltung
16 KB
2 Seiten
Verbindliche Eigenerklärung für Bieter bezüglich restriktiver Maßnahmen der EU angesichts der Handlungen Russlands in der Ukraine (Sanktionsprüfung).
IHP_Lieferanten-, Kundenauskunft.docx
Verwaltung
42 KB
1 Seite
Formular zur Erfassung von allgemeinen Unternehmensdaten, Bankverbindungen und Ansprechpartnern für die Lieferantenregistrierung.
04_02 Bewerbungsbedingungen_Land BB_vol06 .pdf
Richtlinien
25 KB
3 Seiten
Allgemeine Bewerbungsbedingungen des Landes Brandenburg für die Vergabe von Liefer- und Dienstleistungen nach VOL/A.
CSX 30 - Aufforderung zur Abgabe eines Teilnahmeantrags EU.pdf
Ausschreibung
13 KB
4 Seiten
Offizielle Aufforderung zur Abgabe eines Teilnahmeantrags für das Verhandlungsverfahren zum Upgrade einer CVD-Kammer, inklusive Fristen und einzureichender Nachweise.
03_4 Eigenerklaerung_ILO.pdf
Vertragliches
251 KB
3 Seiten
Eigenerklärung zur Einhaltung der Kernarbeitsnormen der Internationalen Arbeitsorganisation (ILO) bei der Auftragsausführung.
4.5 Erklaerung Frauenfoerderverordnung (Stand 12.2018).pdf
Verwaltung
73 KB
3 Seiten
Erklärungsformular zur bevorzugten Berücksichtigung von Unternehmen gemäß der Frauenförderverordnung des Landes Brandenburg.
CSX 43 - Zusammenstellung einzureichender Unterlagen.pdf
Verwaltung
190 KB
1 Seite
Checkliste und Zusammenstellung aller mit dem Teilnahmeantrag einzureichenden Unterlagen und Eignungsnachweise für das Projekt IHP-2026-018.
Teilnahmewettbewerb_IHP-2026-018.pdf
Richtlinien
280 KB
2 Seiten
Vergabeunterlagen zum Teilnahmewettbewerb für das Upgrade eines Wolfram-CVD-Systems, enthaltend die Projektbeschreibung und Eignungskriterien.

FAQ

Ist eine Vor-Ort-Besichtigung für die Angebotserstellung verpflichtend?

Welche Rolle spielt das bereits vorhandene WxZ Sprint System am Standort?

Welche spezifischen Prozessgase müssen durch das neue Gasverteilungssystem geschaltet werden?

Welche Anforderungen gelten für die Hardware hinsichtlich des Depositionsdrucks?

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