Beschaffung von Wasserstoffperoxid (H2O2) für CMP-Prozess
Auftraggeber
Fraunhofer ENAS
09126 Chemnitz
Veröffentlicht
03.09.2026
Angebotsfrist
21.09.2026, 08:00 Uhr
Steckbrief
Zusammenfassung
Beschafft wird Wasserstoffperoxid (H2O2) für den Einsatz im CMP-Prozess (Chemical Mechanical Planarization) zur Bearbeitung metallischer Oberflächen. Die Lieferung umfasst 50 Flaschen des chemischen Stoffes. Das Produkt muss eine Konzentration von 30 Prozent aufweisen und in VLSI-Reinheit geliefert werden. Die Beschaffung erfolgt für das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (ENAS) in Chemnitz.
Zeitplan
Ausschreibung
| Reichweite: | National |
|---|---|
| Vergabeart: | Öffentliche Ausschreibung |
| Vergabeverordnung: | VOL/A |
| Leistung: | Lieferleistungen |
| Erfüllungsort: | 09126 Chemnitz, DED, Deutschland |
Auftraggeber
Name
Adresse
Website
Kontakt
Teilnahme
| Abgabeform: | Elektronisch |
|---|
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