Lieferung eines maskenlosen Lithographiesystems für UV-Belichtung
Auftraggeber
Technische Universität Dresden, Dezernat Finanzen und Beschaffung, Sachgebiet Zentrale Beschaffung und Anlagenbuchhaltung
01069 Dresden
Veröffentlicht
27.09.2026
Angebotsfrist
23.10.2026, 12:00 Uhr
Steckbrief
Zusammenfassung
Die Technische Universität Dresden schreibt die Lieferung und betriebsbereite Übergabe eines maskenlosen Lithographiesystems für die direkte, rasterbasierte UV-Belichtung aus. Der Leistungsumfang umfasst neben dem Gerät selbst auch die Installation, Inbetriebnahme sowie eine gerätespezifische Einweisung. Das System muss spezifische Anforderungen an Strukturgröße, Belichtungsfläche, Substratgrößen und Positionierungsgenauigkeit erfüllen. Die Belichtung erfolgt mittels UV-LED, wobei verschiedene Belichtungsfunktionen und Software-Schnittstellen gefordert sind.
Zeitplan
Ausschreibung
| Reichweite: | National |
|---|---|
| Vergabeart: | Öffentliche Ausschreibung |
| Vergabeverordnung: | VOL/A |
| Leistung: | Lieferleistungen |
| Zuschlagskriterien: | Wirtschaftlich günstigstes Angebot in Bezug auf die Kriterien, die in den Vergabe-/Ausschreibungsunterlagen aufgeführt sind. |
| Erfüllungsort: | Nöthnitzer Straße 61, 01187 Dresden, Deutschland |
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Auftraggeber
Name
Adresse
Website
Kontakt
Teilnahme
| Abgabeform: | Schriftlich, Elektronisch |
|---|---|
| Abgabe-Adresse: | Mommsenstraße 6, 01069 Dresden, Deutschland |
| Anzahl der Angebote: | Mehrere Hauptangebote sind nicht zulässig.Nebenangebote sind nicht zulässig. |
Voraussetzungen
| Referenzen: |
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| Finanziell: |
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| Sonstige: |
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Dokumente
FAQ
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