Lieferung eines maskenlosen Lithographiesystems für UV-Belichtung

Auftraggeber

Technische Universität Dresden, Dezernat Finanzen und Beschaffung, Sachgebiet Zentrale Beschaffung und Anlagenbuchhaltung

01069 Dresden

Veröffentlicht

27.09.2026

Angebotsfrist

23.10.2026, 12:00 Uhr

Steckbrief

Lithographiesystem
UV-Belichtung
Medizintechnik
Labortechnik
Messtechnik
Hardware

Zusammenfassung

Die Technische Universität Dresden schreibt die Lieferung und betriebsbereite Übergabe eines maskenlosen Lithographiesystems für die direkte, rasterbasierte UV-Belichtung aus. Der Leistungsumfang umfasst neben dem Gerät selbst auch die Installation, Inbetriebnahme sowie eine gerätespezifische Einweisung. Das System muss spezifische Anforderungen an Strukturgröße, Belichtungsfläche, Substratgrößen und Positionierungsgenauigkeit erfüllen. Die Belichtung erfolgt mittels UV-LED, wobei verschiedene Belichtungsfunktionen und Software-Schnittstellen gefordert sind.

Zeitplan

Bekanntmachung27.09.2026
Heute09.10.2026
Abgabefrist23.10.2026
Veröffentlichungsende23.10.2026
Bindefrist04.12.2026

Ausschreibung

Reichweite:National
Vergabeart:Öffentliche Ausschreibung
Vergabeverordnung:VOL/A
Leistung:Lieferleistungen
Zuschlagskriterien:
Wirtschaftlich günstigstes Angebot in Bezug auf die Kriterien, die in den Vergabe-/Ausschreibungsunterlagen aufgeführt sind.
Erfüllungsort:Nöthnitzer Straße 61, 01187 Dresden, Deutschland

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Auftraggeber

Name

Adresse

Website

Kontakt

Teilnahme

Abgabeform:Schriftlich, Elektronisch
Abgabe-Adresse:Mommsenstraße 6, 01069 Dresden, Deutschland
Anzahl der Angebote:
Mehrere Hauptangebote sind nicht zulässig.Nebenangebote sind nicht zulässig.

Voraussetzungen

Referenzen:
  • Angabe über die Ausführung von Leistungen in den letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahren, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind (prüfbare abgeschlossene Referenzen).
Finanziell:
  • Vorlage einer amtlichen Unbedenklichkeitsbescheinigung des zuständigen Finanzamtes bzw. eine eigene Erklärung über die pflichtgemäße Zahlung von Steuern, Abgaben und Beiträgen zur gesetzlichen Sozialversicherung.
Sonstige:
  • Bescheinigung der Eintragung in die Präqualifikationsdatenbank für den Liefer- und Dienstleistungsbereich (PQ-VOL) oder die Bescheinigung anderer Präqualifikationsstellen (optional anstelle von Einzelnachweisen zur Zuverlässigkeit, Leistungsfähigkeit und Fachkunde).

Dokumente

Angebotskennzettel.pdf

Verwaltung
25 KB

Kennzettel für den Angebotsumschlag zur Kennzeichnung von Bieter, Vergabenummer und Angebotsfrist, um eine vorzeitige Öffnung zu verhindern.

Angebotsschreiben.pdf

Finanzielles
482 KB

Formblatt für das verbindliche Angebot des Bieters inklusive Angaben zu Preisen, Nebenangeboten, Eignungsnachweisen und der Anerkennung der Vergabeunterlagen.

Abnahmeprotokoll_4.pdf

Vergabe
41 KB

Vorlage für das Protokoll zur Abnahme der Leistung mit Feldern für Mängel, Fristen, Zahlungseinbehalte und Vertragsstrafen.

AGB_TU_Dresden_05_2014_4.pdf

Vertragliches
66 KB

Allgemeine Geschäftsbedingungen der TU Dresden, die als zusätzliche Vertragsbedingungen (ZVB) unter Einbeziehung der VOL/B gelten.

Bewerbungs_und_Vergabebedingungen_TU_Dresden_2023_4.pdf

Richtlinien
73 KB

Regeln für das Vergabeverfahren, die Anforderungen an die Form der Angebote, Preisangaben und den Umgang mit Vergabeunterlagen festlegen.

Aufforderung_Angebotsabgabe.rtf

Ausschreibung
1.9 MB

Anschreiben zur Einladung zur Angebotsabgabe für ein maskenloses Lithographiesystem mit Informationen zu Fristen und Ansprechpartnern.

Leistungsverzeichnis.pdf

Leistungsumfang
20 KB

Detaillierte technische Spezifikationen und Preisblatt für die Lieferung eines maskenlosen Lithographiesystems inklusive Ausfüllhinweisen für Bieter.

FAQ

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