Waferprober zur Prüfung photonischer integrierter Schaltungen

Monochromator-CCD-Detektionssystem für Schwingungsspektroskopie

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein Monochromator-CCD-Detektionssystem für die nichtlineare optische Schwingungsspektroskopie. Das System besteht aus einem Monochromator/Spektrograph und einer wissenschaftlichen CCD-Kamera, die als eine Einheit fungieren. Die Lieferung umfasst zudem die notwendige Software, Treiber und Dokumentation. Der Auftragnehmer ist für die Aufstellung, Installation, Inbetriebnahme und Funktionsprüfung vor Ort sowie die Einweisung des Personals verantwortlich.

Vollautomatisches In-line-OCD- und Dimensionsform-Messsystem in Dresden

Gegenstand der Beschaffung ist ein vollautomatisches Messgerät zur Erfassung von Critical-Dimension-Strukturen (CD), Schichtdicken und Cu-Dishing auf 300-mm- und 200-mm-Wafern (IZM-133.3). Die Investition erweitert die Messkapazitäten für die automatisierte, zerstörungsfreie Messung kleinerer Strukturgrößen und der Oberflächentopografie. Das System ist kompatibel mit 3D-Wafer-Stapeln mit starker Verformung sowie Silizium- und Glassubstraten mit Dicken bis zu 2,5 mm und führt Lade-, Mess- und Rückführprozesse aus Front-Opening Unified Pods (FOUPs) vollautomatisch aus. Der Einsatzort befindet sich im Reinraum in Dresden.

Photonic Test Head für Fraunhofer ENAS

Die Ausschreibung umfasst die losweise Lieferung von optischen, elektrooptischen und quantenoptischen Laborgeräten für ein photonisches Mess- und Testsystem. Das System dient der Charakterisierung photonischer Bauelemente auf Wafer- und Chipebene im Wellenlängenbereich vom nahen Ultraviolett bis zum nahen Infrarot. Beschafft werden ein elektrooptischer Modulator mit Treiber, optische Leistungsmessgeräte, ein Polarisationsanalysator, ein Transimpedanzverstärker, Einzelphotonendetektoren sowie eine korrelierte Photonenpaarquelle mit integriertem Pumplaser. Die Lieferung erfolgt in drei Losen.

Computergesteuertes Schleif-, Läpp- und Poliersystem

Beschafft wird ein computergesteuertes Schleif-, Läpp- und Poliersystem für die wissenschaftliche Materialprobenpräparation. Das System muss für die Bearbeitung von Halbleitern, Oxiden, Keramiken und Metallen geeignet sein. Ziel ist die reproduzierbare Herstellung planparalleler Proben mit hoher Oberflächenqualität und definierter Enddicke. Die Anlage muss automatisierte Prozessführungen unterstützen und eine präzise Dickenkontrolle ermöglichen. Die Lieferung umfasst zudem die Installation, Inbetriebnahme und Einweisung vor Ort.

Absorptionsmikroskop für die Technische Universität München in Garching

Die Technische Universität München schreibt die Beschaffung eines vollständigen, betriebsbereiten Systems zur quantitativen, ortsaufgelösten und hyperspektralen Absorptionsmikroskopie aus. Das System ist für Untersuchungen an atomar dünnen Materialien, Dünnfilmen und vergrabenen Grenzflächen bei Raumtemperatur konzipiert. Der Lieferumfang umfasst neben der Mikroskopie- und Spektroskopieeinheit auch die notwendige Positionierungstechnik, Schwingungsisolierung, Software sowie die Inbetriebnahme und Anwenderschulung. Die Beschaffung erfolgt im Rahmen eines offenen Verfahrens mit einer Preisobergrenze von 270.000,00 EUR brutto.

Manueller Wafermounter für Frankfurt (Oder)

Beschafft werden zwei manuelle Wafermounter für 200 mm BiCMOS-Wafer, die sowohl für reine Wafer als auch für Wafer mit Rahmen geeignet sind. Die Geräte müssen für den Einsatz in einem Reinraum der Klasse ISO 6 ausgelegt sein und den aktuellen EU-Rechtsvorschriften entsprechen. Der Lieferumfang umfasst neben den Geräten auch die Installation und Inbetriebnahme vor Ort. Zudem sind verschiedene Vakuum-Chucks, Cutting Tools und ein Protection Tape Winder erforderlich. Die Geräte müssen über eine ESD-Neutralizing Bar zur Vermeidung elektrostatischer Aufladungen verfügen.

SQUID-Magnetometer mit geschlossenem He-Kreislauf

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein SQUID-Magnetometer mit geschlossenem Helium-Kreislauf für die Untersuchung paramagnetischer, molekularer Substanzen und Materialien. Das System muss ohne externe Zufuhr flüssiger Kühlmittel betreibbar sein und umfasst neben der Hardware auch die Installation, Inbetriebnahme sowie eine Einweisung des Personals. Die Vergabe erfolgt als Gesamtsystem, um die Kompatibilität der Komponenten sicherzustellen. Nebenleistungen wie die Entsorgung von Verpackungsmaterialien und technischer Support sind Teil des Auftrags.

UV/Vis/NIR-Spektrophotometer für Materialcharakterisierung

Beschafft werden soll ein betriebsbereites Standalone-UV/Vis/NIR-Spektrophotometer zur quantitativen Charakterisierung fester, nanostrukturierter, poröser und photonischer Materialien. Das System muss Transmissions-, Reflexions-, winkel- und polarisationsabhängige Messungen sowie automatisierte Langzeitmessungen unterstützen. Zum Lieferumfang gehören neben dem Spektrophotometer die Steuer- und Auswertesoftware, ein Rechner mit Monitor sowie die Installation, Inbetriebnahme und eine Grundeinweisung. Die Anlieferung muss in Transporteinheiten erfolgen, die durch eine Aufzugstür mit einer lichten Breite von 89 cm passen.

Automated 300 mm Die-to-Wafer thermocompression bonding tool

Beschafft wird ein automatisiertes 300 mm Die-to-Wafer Thermokompressions-Bondingsystem. Das Gerät dient der präzisen Platzierung von Halbleiterkomponenten auf Substraten. Es ermöglicht die automatisierte Handhabung von 300 mm Wafern und Tape Frames sowie die manuelle Bestückung mit Waffle-Pack-Chip-Trays. Das System unterstützt verschiedene Bonding-Verfahren bei erhöhten Temperaturen und Drücken zur Erzielung hoher I/O-Dichten.

Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit REM-Funktionen

Beschafft wird ein Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM). Das System dient der direkten, maskenlosen Strukturierung elektronenempfindlicher Resistschichten auf Proben bis zu 25 mm x 25 mm. Zusätzlich soll das Gerät für hochauflösende REM-Aufnahmen zur zerstörungsfreien Qualitätskontrolle und Strukturverifikation eingesetzt werden. Die Lieferung umfasst alle notwendigen Baugruppen, die Anlagensteuerung sowie die Inbetriebnahme und Einweisung des Personals.