Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit REM-Funktionen

Kompakt-Rasterelektronenmikroskop zur hochauflösenden Abbildung und Charakterisierung

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein Kompakt-Rasterelektronenmikroskop zur hochauflösenden Abbildung und Charakterisierung von Nanopartikeln und Nanofasern. Das System muss als betriebsfertiges Komplettgerät inklusive Steuerrechner, Bediensoftware und einem vollautomatischen Vakuum-Pumpsystem geliefert werden. Zu den technischen Mindestanforderungen gehören eine SE-Auflösung von mindestens 4 nm, ein integriertes EDS-System zur Elementanalyse sowie ein motorisierter Probentisch. Die Lieferung umfasst zudem die Aufstellung, Inbetriebnahme, Kalibrierung und eine Ersteinweisung vor Ort. Das Gerät muss eine einfache Bedienung und wartungsarme Instandhaltung gewährleisten.

BSE-Topographie und Multikanal-Messgerät für REM

Beschafft wird ein Messsystem zur Erweiterung eines bestehenden Rasterelektronenmikroskops vom Typ Hitachi SU70. Das System umfasst eine 3D-Topographiemessung sowie ein Multikanal-Messgerät für REM-Anwendungen. Es dient der präzisen Vermessung lateraler und vertikaler Dimensionen von Solarzellentexturen sowie der Durchführung von Patentverletzungsanalysen. Die technische Implementierung erfordert die Integration in den bestehenden REM/EBIC-Messplatz.

EDX und EBSD Detektor Lieferung und Inbetriebnahme

Gegenstand der Beschaffung ist die Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme eines EDX und EBSD Detektors. Das Verfahren ist in zwei Lose aufgeteilt: Los 1 umfasst den EDX Detektor, Los 2 den EBSD Detektor. Die Leistungen sind am Standort Garching zu erbringen.

Präzises PBF-LB/M System zur additiven Fertigung metallischer Bauteile

Gegenstand der Ausschreibung ist die Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme einer Anlage zur laserbasierten additiven Fertigung metallischer Bauteile im Pulverbett (PBF-LB/M). Das System dient Forschungs-, Entwicklungs- und Demonstrationszwecken und muss die Herstellung kleiner metallischer Bauteile sowie Prüfkörper ermöglichen. Zum Lieferumfang gehören neben der Anlage selbst auch die erforderliche Software zur Bauauftragsvorbereitung und -übertragung sowie qualifizierte Parametersätze. Zudem sind die Integration in bestehende Arbeitsabläufe, eine Bedienerschulung vor Ort und eine umfassende Anlagendokumentation gefordert.

Femtosekunden-Laser-System und Detektionssystem

Die Ausschreibung betrifft die Beschaffung eines Femtosekunden-Laser-Systems mit Ti:Sa-Verstärker sowie eines Detektionssystems für die nichtlineare optische Spektroskopie. Das Femtosekunden-Laser-System umfasst zwei Verstärkereinheiten, zwei OPA-Module und zugehörige Steuerungs- und Kühlkomponenten. Das Detektionssystem beinhaltet einen Detektor, Spektrographen, Galvo-Scanner, Chopper sowie diverse optische und elektronische Komponenten zur Steuerung und Signalverarbeitung. Die Lieferung, Installation und Einweisung der Systeme am Standort Dresden sind Teil des Auftrags.

Maskenloses Lithographiesystem für Hahn-Schickard gGmbH

Beschafft wird ein maskenloses Lithographiesystem zur hochpräzisen Belichtung von Fotolacken im Submikrometerbereich. Das System ermöglicht die Herstellung temporärer und permanenter Masken auf verschiedenen Substratmaterialien wie Halbleitern, Keramik, Glas und organischen Stoffen. Es ist für den Einsatz in Reinraumumgebungen konzipiert und unterstützt sowohl F&E-Prozesse als auch die Produktion kleiner bis mittlerer Losgrößen. Die Steuerung erfolgt über eine integrierte Software mit grafischer Benutzeroberfläche zur Prozessverwaltung und -visualisierung. Das System zeichnet sich durch eine hohe Flexibilität bei der Komponentenaufnahme und eine präzise Laserbelichtung aus.

Lieferung eines maskenlosen Lithographiesystems für UV-Belichtung

Die Technische Universität Dresden schreibt die Lieferung und betriebsbereite Übergabe eines maskenlosen Lithographiesystems für die direkte, rasterbasierte UV-Belichtung aus. Der Leistungsumfang umfasst neben dem Gerät selbst auch die Installation, Inbetriebnahme sowie eine gerätespezifische Einweisung. Das System muss spezifische Anforderungen an Strukturgröße, Belichtungsfläche, Substratgrößen und Positionierungsgenauigkeit erfüllen. Die Belichtung erfolgt mittels UV-LED, wobei verschiedene Belichtungsfunktionen und Software-Schnittstellen gefordert sind.

Fetmosekunden-Laser für Lasermikrobearbeitung

Die Hochschule Merseburg schreibt die Beschaffung eines Hochleistungs-Femtosekundenlasers für das Fachlos 1 aus. Der Beschaffungsgegenstand umfasst die Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Integration des Lasersystems in eine bestehende Anlage sowie die Einweisung des Personals. Das System muss spezifische optische Parameter, Puls- und Burst-Betriebsmodi sowie kompakte Abmessungen für die räumliche Integration erfüllen. Die Steuerung und Software müssen eine computergestützte Bedienung ermöglichen. Zudem ist eine unabhängige Kühlung erforderlich.

Kauf, Lieferung und Installation eines pixelierten Hybrid-Detektors für Transmissionselektronenmikroskop

Das Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. schreibt den Kauf, die Lieferung und die Installation eines pixelierten Hybrid-Detektors aus. Das Gerät ist für den Einsatz am vorhandenen Transmissionselektronenmikroskop FEI Titan3 G2 60–300 vorgesehen. Der Detektor muss für Elektronenenergien von 60 bis 300 keV geeignet sein und insbesondere 4D-STEM- sowie Nanobeugungsanwendungen ermöglichen. Zum Lieferumfang gehören neben dem Detektor auch die Ausleseelektronik, die Synchronisationseinheit, die erforderliche Software sowie die mechanische und elektrische Integration. Die Inbetriebnahme umfasst zudem eine Anwenderschulung vor Ort.

Raman Microscope System

Es ist beabsichtigt, ein vollautomatisiertes konfokales Raman-/Photolumineszenz-Mikroskopsystem zu beschaffen. Nähere Einzelheiten sind den Vergabeunterlagen, insb. Im Lastenheft zu entnehmen.