Kompakte Atomic-Layer-Deposition-(ALD)-Anlage für funktionelle Dünnschichten

Auftraggeber

Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Abt. Beschaffung, Zahlstelle (K13)

39106 Magdeburg

Veröffentlicht

27.08.2026

Angebotsfrist

14.09.2026, 21:59 Uhr

Steckbrief

Atomic-Layer-Deposition
ALD-Anlage
Dünnschichten
Labortechnik
Messtechnik

Zusammenfassung

Beschafft wird eine kompakte Atomic-Layer-Deposition-Anlage für den Einsatz auf einem Standard-Labortisch. Das System dient der hochpräzisen und reproduzierbaren Abscheidung funktionaler Dünnschichten für Forschungszwecke in der Mikro- und Nanotechnologie. Die Anlage muss für verschiedene Substratarten und komplexe Geometrien geeignet sein. Der Lieferumfang umfasst neben der Hardware auch die Inbetriebnahme, Schulung und technische Unterstützung.

Zeitplan

Bekanntmachung27.08.2026
Heute12.09.2026
Abgabefrist14.09.2026
Veröffentlichungsende14.09.2026
Bindefrist14.10.2026

Ausschreibung

Reichweite:National
Vergabeart:Öffentliche Ausschreibung
Vergabeverordnung:UVgO
Leistung:Lieferleistungen
Zuschlagskriterien:
Der niedrigste Preis
Auftrags-Budget:116.000 €
Erfüllungsort:Universitätsplatz 2, 39106 Magdeburg, Deutschland

Auftraggeber

Name

Adresse

Website

Kontakt

Teilnahme

Abgabeform:Elektronisch
Anzahl der Angebote:
Mehrere Hauptangebote sind nicht zulässig.Nebenangebote sind nicht zulässig.

Voraussetzungen

Rechtlich:
  • Nachunternehmerverzeichnis (wenn beabsichtigt)
  • Bescheinigung einer Eintragung in das Unternehmer- und Lieferantenverzeichnis der Auftragsberatungsstelle Sachsen-Anhalt oder gültige Bescheinigung einer anerkannten Präqualifizierungsstelle z.B. DIHK PQ-VOL oder Einzelnachweis: Eigenerklärung §§123, 124 GWB
  • Ergänzende Vertragsbedingungen TVergGLSA.pdf
  • Eigenerklärung zum TVergG-LSA § 11 Abs. 1, 3 und 5 zur Tariftreue, Mindeststundenentgelt und Entgeltgleichheit
  • Eigenerklärung zum TVergG-LSA § 13, Abs. 1 zu den ILO Kernarbeitsnormen
  • Eigenerklärung zum TVergG-LSA § 14, Abs. 2, 4 Nachunternehmer und Verleiher
  • Eigenerklärung zum TVergG-LSA § 17 Abs. 1, 2 und 3 zur Nachweispflicht bei Kontrollen durch den Auftraggeber

Dokumente

631_Aufforderung_zur_Abgabe_eines_Angebots.pdf

Ausschreibung
182 KB

Aufforderung zur Abgabe eines Angebots für eine kompakte Atomic-Layer-Deposition-Anlage mit Details zu Fristen, Vergabestelle und einzureichenden Unterlagen.

632_Bewerbungsbedingungen.pdf

Richtlinien
77 KB

Bewerbungsbedingungen für die Vergabe von Leistungen gemäß UVgO, einschließlich Hinweisen zu Unklarheiten, Wettbewerbsbeschränkungen und Formvorschriften für Angebote.

633_Angebot.pdf

Verwaltung
1.3 MB

Vordruck für das Angebotsschreiben zur Einreichung von Preisen, Angaben zu Nebenangeboten und Erklärungen zur Bindefrist sowie Vertragsbestandteilen.

634_Besondere_Vertragsbedingungen.pdf

Vertragliches
77 KB

Besondere Vertragsbedingungen (BVB) für die Beschaffung der ALD-Anlage, unter anderem mit Regelungen zu Lieferorten, Ausführungsfristen und Vertragsstrafen.

635_ZVB.pdf

Vertragliches
73 KB

Zusätzliche Vertragsbedingungen (ZVB) für die Ausführung von Leistungen, die Themen wie Preisbestandteile, Leistungsänderungen, Abnahme und Mängelansprüche regeln.

Handlungsanweisung__Nachunternehmer.pdf

Verwaltung
19 KB

Eigenerklärung zum Nachunternehmereinsatz gemäß TVergG LSA, in der sich der Bieter zur Benennung von Nachunternehmern und Einhaltung von Arbeitsbedingungen verpflichtet.

Eigenerklärung_nach__123_124_GWB.pdf

Verwaltung
1.9 MB

Eigenerklärung zum Nichtvorliegen von zwingenden und fakultativen Ausschlussgründen gemäß §§ 123, 124 GWB.

Ergänzende_Vertragsbedingungen_TVergGLSA.pdf

Vertragliches
103 KB

Erklärungen zur Tariftreue, zum Mindeststundenentgelt und zur Entgeltgleichheit gemäß dem Tariftreue- und Vergabegesetz Sachsen-Anhalt.

Nachunternehmerverzeichnis.pdf

Verwaltung
174 KB

Formblatt zur Auflistung der beabsichtigten Nachunternehmer und der von ihnen auszuführenden Teilleistungen.

Anlage_Leistungsverzeichnis_Englisch_Annex_Specifications_English.pdf

Leistungsumfang
100 KB

Technical specifications for the procurement of a compact benchtop Atomic Layer Deposition (ALD) system, including dimensions, temperature requirements, and process capabilities.

Ergänzende_Vertragsbedingungen_allgemein.pdf

Vertragliches
77 KB

Ergänzende Vertragsbedingungen zu Kontrollrechten und Sanktionen im Zusammenhang mit dem Tariftreue- und Vergabegesetz Sachsen-Anhalt.

Leistungsverzeichnis.pdf

Leistungsumfang
27 KB

Detaillierte technische Beschreibung der Anforderungen an die kompakte Atomic-Layer-Deposition-Anlage, inklusive Maßen, Kammertemperatur und Prozessarten.

FAQ

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