RF-Plasmaquelle für Stickstoff für TLE

300 kW - 108 MHz - Transistorverstärker

Herstellung, Lieferung und Installation von drei wassergekühlten 300-kW-Halbleiter-Leistungsverstärkersystemen in kompakter Bauweise (max. 2 Schränke) einschließlich lokaler Steuerung. Die mechanische Anordnung muss sich in die vorhandenen örtlichen Gegebenheiten einfügen.

Verkabelung zur RF-Charakterisierung von SiGe Qubit Chip Proben

Die Ausschreibung betrifft die Lieferung einer vollständigen Verkabelung zur RF-Charakterisierung von SiGe Qubit Chip Proben für einen Bluefors XLD400sl Kryostaten. Der Leistungsumfang umfasst die Bereitstellung von Raumtemperatur-Verkabelung, hermetischen Feedthroughs, kryostatinterner Verkabelung bis zur Mixing Chamber (MXC) sowie Dämpfungsglieder und eine spezifische Verkabelung vom MXC zum RF-PCB. Zudem ist eine detaillierte Installationsanleitung oder eine entsprechende Installationshilfe für die Montage der Komponenten erforderlich. Die gesamte Baugruppe muss für den Betrieb im Kryostaten ausgelegt sein und spezifische Anforderungen an Frequenzbereich, Impedanz und Signalqualität erfüllen.

Sputteranlage inkl. Nebenleistungen

Beschaffung einer Sputteranlage inklusive umfangreicher Nebenleistungen. Die Leistungen umfassen Fertigung, Vorabnahme, Lieferung, Einbringung, Aufbau, Montage, Einbau, Inbetriebnahme, Dichtheitsprüfung, Endabnahme und Dokumentation. Zusätzlich sind diverse Programmierleistungen zu erbringen.

High Temperature 200 mm Ion Implanter

Beschaffung eines High Temperature 200 mm Ion Implanters. Optionen umfassen alternative Verfahren zur Implantation von Al, ein Messsystem zur Bestimmung der exakten Ausrichtung des SiC für die Channeling-Implantation sowie einen zweijährigen Wartungsvertrag mit Verlängerungsoptionen.