High Temperature 200 mm Ion Implanter

Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter

Die Ausschreibung betrifft die Erneuerung und Erweiterung einer bestehenden MOVPE-Anlage (Metallorganische Gasphasenepitaxie) des Herstellers Aixtron für III-Nitrid und 2D-Halbleiter. Der Leistungsumfang umfasst den Austausch spezifischer Komponenten wie der Prozesspumpe, des Showerhead-Gaseinlasses und von Rückschlagventilen. Zudem ist die Anlage um Leitungen für die Quellmaterialien Triethylboran und Ethen zu erweitern, inklusive der notwendigen Anpassungen am Gasversorgungssystem. Die Arbeiten beinhalten die Lieferung, Montage, Integration, Inbetriebnahme sowie eine umfassende Funktionsprüfung der Anlage.

ALE-Trockenätzanlage für III-V-Halbleiter (Installation, Wartung, Support)

Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen. Neben der Lieferung sind auch Installation, Wartung und Support Teil der Leistung.

Halbautomatischer On-Wafer Prober: Lieferung, Montage und Installation

Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt beschafft einen halbautomatischen On-Wafer-Prober für 200 mm Wafer. Die Leistung umfasst die Lieferung, Montage und Installation des Geräts im Labor 2.23 am Standort Braunschweig. Das System muss für planbare Streuparametermessungen mit einer Bandbreite von mindestens 220 GHz geeignet sein. Zudem sind eine praktische Einweisung sowie eine vollständige Dokumentation der Anlage und der Steuersoftware gefordert.

Semi-Automatic Wafer Prober System for Characterization of 200-mm Wafers

The subject of the procurement is the supply, installation and commissioning of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and high-frequency characterization of 200-mm wafers for research and laboratory use at IHP. The system shall include, among other components, a 200-mm wafer prober with vacuum chuck and precision positioning, individual probes, multi-contact probes for RF measurements up to at least 6 GHz, a probe card system, automated microscopy and camera equipment, as well as control and software components. The scope of supply also includes transport, installation, commissioning, training, documentation, warranty and spare-parts supply.

Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage

Die Technische Universität Braunschweig schreibt die Auf- und Umrüstung einer bestehenden Veeco K300 MOVPE-Anlage aus dem Baujahr 2007 aus. Der Auftrag umfasst ein Steuerungssoftware- und SPS-Upgrade, die Aufrüstung für zwei Hochtemperatur-Metallorganik-Quellenliefersysteme sowie eine Durchfluss-Flanschmodifikation. Ziel ist die Modernisierung der Anlage für die Epitaxie von GaInAlN und die Ermöglichung neuer Prozessanforderungen. Die Arbeiten beinhalten die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und Einweisung des Personals.

Herstellung von Bonddruckplatten aus Siliziumnitrid (Bondchuck SiN 8zoll)

Die Ausschreibung betrifft die Beschaffung von zwei Bonddruckplatten aus Siliziumnitrid sowie zwei Einlagen (Bondchucks) aus Siliziumnitrid für eine Waferbondanlage des Typs EVG 540. Die Komponenten müssen hohen Temperaturen und mechanischen Belastungen standhalten und weisen spezifische Anforderungen an Oberflächengüte, Ebenheit und Parallelität auf. Die Fertigung erfolgt nach bereitgestellten STEP-Dateien und technischen Skizzen. Die Lieferung umfasst insgesamt vier Bauteile, aufgeteilt in zwei Lose.

Lieferung eines Rapid Thermal Annealers

Lieferung eines Gerätesystems gem. beigefügter Leistungsbeschreibung. DFG-Az.: EXC 2111/2 TP 2 (A 222) Lieferung eines Rapid Thermal Annealers.

Mikroskopsystem

Beschafft wird ein motorisiertes Mikroskopsystem für die Inspektion von 12-Zoll-Wafern sowie zwei Aufrüstkits für bestehende Mikroskope der Typen Olympus MX50L und MX61L. Das neue System umfasst einen motorisierten XY-Tisch, eine motorisierte Fokussierung, Objektive mit langem Arbeitsabstand, eine hochauflösende Kamera sowie eine entsprechende Bildaufnahme- und Messsoftware. Zudem ist ein Breath Shield zur Kontaminationsreduzierung sowie die Installation und Inbetriebnahme vor Ort gefordert. Die Aufrüstung der Bestandsmikroskope beinhaltet die Integration neuer Kameras und einer harmonisierten Softwareumgebung.

VNA-Frequenzerweiterungen für Netzwerkanalysator

Beschafft werden Frequenzerweiterungen für einen vorhandenen Vektor-Netzwerkanalysator (VNA) des Typs Rohde & Schwarz ZNA 67, um S-Parametermessungen im Frequenzbereich von 67 GHz bis 170 GHz zu ermöglichen. Der Lieferumfang umfasst zwei Frequenzerweiterungen für den Bereich 65-110 GHz sowie ein Hohlleiter-Kalibrierkit für den Bereich 75-110 GHz. Zudem sind die vollständige Hard- und Softwareintegration in das bestehende Messsystem sowie eine Anwenderschulung für bis zu fünf Mitarbeitende am Standort Cottbus gefordert. Die Komponenten müssen mit dem vorhandenen VNA und den Waferprober-Halterungen des Typs MPI MP80INT2-WR-THZ kompatibel sein.

Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers

Supply, delivery, installation, commissioning and integration of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system shall support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and shall be integrated with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes, optical and camera systems, control hardware and software, cabling and interfaces, installation, commissioning, operator training and integration support.