Pads für Mirra Anlage zum Oxide Polieren von 8 Zoll Wafern

Auftraggeber

Fraunhofer ENAS

Chemnitz

Veröffentlicht

05.10.2026

Angebotsfrist

29.10.2026, 13:00 Uhr

Steckbrief

Pads
Mirra
Oxide Polieren
Wafer

Zusammenfassung

Beschafft werden 12 Polierpads für die CMP-Anlage MIRRA im CMP-Labor des Fraunhofer ENAS. Die Pads müssen einen Durchmesser von 20 Zoll aufweisen und über ein integriertes optisches Fenster verfügen, das exakt auf die Sensoren der Anlage abgestimmt ist. Da die genauen Spezifikationen des Fensters aufgrund von Vertraulichkeitsvereinbarungen nicht vollständig spezifiziert werden können, ist die Eignung alternativer Pads durch praktische Qualifikationstests nachzuweisen. Die Pads müssen zudem spezifische Anforderungen an Materialeigenschaften wie Härte und Flüssigkeitsaufnahme erfüllen, um einen kontrollierten Materialabtrag zu gewährleisten.

Zeitplan

Bekanntmachung05.10.2026
Heute09.10.2026
Abgabefrist29.10.2026
Veröffentlichungsende29.10.2026

Ausschreibung

Reichweite:National
Vergabeart:Öffentliche Ausschreibung
Vergabeverordnung:VOL/A
Leistung:Lieferleistungen
Erfüllungsort:09126 Chemnitz, Sachsen, Deutschland

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Auftraggeber

Name

Adresse

Website

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Kontakt

—

Teilnahme

Abgabeform:Elektronisch

Dokumente

PR1310246+_AwardConditions.pdf

Richtlinien
161 KB

Festlegung der Vergabebedingungen, inklusive Hinweisen zu Nebenangeboten, der Verbindlichkeit von Vertragsunterlagen sowie Informationen zur Bonitätsprüfung durch Creditreform oder Coface.

PR1310246+_eligibility+criteria+Eignungskriterien.pdf

Richtlinien
103 KB

Auflistung der geforderten Eignungskriterien wie Firmenprofil, Umsatzangaben der letzten Jahre und Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen.

634_UVgO_Besondere_Vertragsbedingungen.pdf

Vertragliches
86 KB

Besondere Vertragsbedingungen für Liefer- und Dienstleistungen, die Regelungen zu Ausführungsfristen, Vertragsstrafen bei Verzug, Rechnungsstellung und Sicherheitsleistungen enthalten.

C_Self-declaration+regarding+the+absence+of+exclusion+criteria_05-26.pdf

Verwaltung
77 KB

Self-declaration form for bidders to confirm the absence of exclusion criteria according to Sections 123 and 124 of the German Act Against Restraints of Competition (GWB).

244_Datenverarbeitung.pdf

Richtlinien
34 KB

Ergänzung zur Aufforderung zur Angebotsabgabe bezüglich der Bearbeitungsphasen und des elektronischen Datenaustauschs (GAEB-Schnittstelle) im Vergabeverfahren.

LV_421691.pdf

Leistungsumfang
17 KB

Positionsliste und Preisblatt für das Verfahren 'Pads für Mirra' mit Angabe der Hauptleistungsbereiche.

1_B_Sustainabilitystandards_ENG_06-2024.pdf

Vertragliches
273 KB

Sustainability standards for suppliers outlining requirements for human rights, environmental protection, and legal compliance in business transactions with Fraunhofer.

PR1310246+_award+criteria+Zuschlagskriterien.pdf

Richtlinien
168 KB

Festlegung der Zuschlagskriterien mit einer Gewichtung von jeweils 50 % für den Preis und die Lieferzeit.

633_UVgO_Angebotsschreiben_ohne_Losen.pdf

Verwaltung
250 KB

Vordruck für das Angebotsschreiben bei Liefer- und Dienstleistungen inklusive Angaben zu Preisen, Bindefrist und beizufügenden Anlagen.

Lieferantenbankauskunft_Unternehmen.pdf

Finanzielles
71 KB

Formular zur Erfassung von Lieferantenstammdaten und Bankverbindungen für die Zahlungsabwicklung.

632_UVgO_Bewerbungsbedingungen.pdf

Richtlinien
31 KB

Bewerbungsbedingungen für die Vergabe von Leistungen nach UVgO, enthaltend Regeln zu Unklarheiten, Wettbewerbsbeschränkungen und Formvorschriften für Angebote.

PR1310246+_KfmBedingungenCommercialTerms-2022-4-21.pdf

Vertragliches
169 KB

Kaufmännische Bedingungen mit Festlegungen zum Vertragsgegenstand, den Lieferbedingungen (DPU Incoterms 2020) und zollrechtlichen Bestimmungen.

1_B_Sustainabilitystandards_DE_06-2024.pdf

Vertragliches
239 KB

Nachhaltigkeitsstandards für Lieferanten der Fraunhofer-Gesellschaft zur Einhaltung von Menschenrechten, Umweltstandards und gesetzlichen Vorschriften.

1_C_Export+Classification+Request+Form.pdf

Verwaltung
211 KB

Formular zur Export-Klassifizierung von Gütern, Software und Technologie gemäß U.S.- und EU-Exportkontrollrecht.

C_Eigenerklärung+Nichtvorliegen+Ausschlussgründe_05-26.pdf

Verwaltung
105 KB

Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach §§ 123, 124 GWB, insbesondere bezüglich strafrechtlicher Verurteilungen.

1_B_AEB-SPT_04-2026.pdf

Vertragliches
761 KB

Allgemeine Einkaufsbedingungen (AEB) der Fraunhofer-Gesellschaft für Kauf- und Werkverträge sowie Regelungen zur Rangfolge der Vertragsgrundlagen.

1_handout+award+criteria_Handreichung+Zuschlagskriterien.pdf

Richtlinien
133 KB

Handreichung zur Bewertung der Zuschlagskriterien, erläutert das Punktesystem sowie die Kennzeichnungen für Forderungen, Optionen und Informationen im Leistungsverzeichnis.

PR1310246+_technical+spezification+Leistungsverzeichnis.xlsx

Leistungsumfang
38 KB

Detailliertes Leistungsverzeichnis für Polierpads für eine CMP-Anlage (MIRRA), inklusive technischer Anforderungen an Materialeigenschaften und optische Fenster.

635_UVgO_Zusaetzliche_Vertragsbedingungen.pdf

Vertragliches
25 KB

Zusätzliche Vertragsbedingungen für die Ausführung von Leistungen, unter anderem zu Verpackungskosten, Leistungsänderungen, Abnahme und Mängelansprüchen.

631_UVgO_Aufforderung_zur_Abgabe_eines_Angebots.pdf

Ausschreibung
294 KB

Aufforderung zur Abgabe eines Angebots nach UVgO mit Informationen zur Vergabeart, Fristen und einer Übersicht der beigefügten Vergabeunterlagen.

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