Pads für Mirra Anlage zum Oxide Polieren von 8 Zoll Wafern
Auftraggeber
Fraunhofer ENAS
Chemnitz
Veröffentlicht
05.10.2026
Angebotsfrist
29.10.2026, 13:00 Uhr
Steckbrief
Zusammenfassung
Beschafft werden 12 Polierpads für die CMP-Anlage MIRRA im CMP-Labor des Fraunhofer ENAS. Die Pads müssen einen Durchmesser von 20 Zoll aufweisen und über ein integriertes optisches Fenster verfügen, das exakt auf die Sensoren der Anlage abgestimmt ist. Da die genauen Spezifikationen des Fensters aufgrund von Vertraulichkeitsvereinbarungen nicht vollständig spezifiziert werden können, ist die Eignung alternativer Pads durch praktische Qualifikationstests nachzuweisen. Die Pads müssen zudem spezifische Anforderungen an Materialeigenschaften wie Härte und Flüssigkeitsaufnahme erfüllen, um einen kontrollierten Materialabtrag zu gewährleisten.
Zeitplan
Ausschreibung
| Reichweite: | National |
|---|---|
| Vergabeart: | Öffentliche Ausschreibung |
| Vergabeverordnung: | VOL/A |
| Leistung: | Lieferleistungen |
| Erfüllungsort: | 09126 Chemnitz, Sachsen, Deutschland |
Google Maps ist nicht geladen
Diesen Inhalt liefert Google Maps. Beim Laden werden Daten – darunter deine IP-Adresse – an den Anbieter übertragen.
Deine Auswahl für Google Maps wird gespeichert und gilt, bis du sie in den Cookie-Einstellungen änderst.
Auftraggeber
Name
Adresse
Website
Kontakt
Teilnahme
| Abgabeform: | Elektronisch |
|---|
Dokumente
FAQ
Ähnliche Ausschreibungen
Weitere Ausschreibungen zu:
KI kann Fehler machen. Es ist ratsam, wichtige Informationen zu überprüfen.