Sheet Resistance Measurement Tool

Halbautomatischer On-Wafer Prober: Lieferung, Montage und Installation

Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt beschafft einen halbautomatischen On-Wafer-Prober für 200 mm Wafer. Die Leistung umfasst die Lieferung, Montage und Installation des Geräts im Labor 2.23 am Standort Braunschweig. Das System muss für planbare Streuparametermessungen mit einer Bandbreite von mindestens 220 GHz geeignet sein. Zudem sind eine praktische Einweisung sowie eine vollständige Dokumentation der Anlage und der Steuersoftware gefordert.

Micro Prober / Spitzenmessplatz

Beschafft wird ein Micro Prober beziehungsweise Spitzenmessplatz für die messtechnische Charakterisierung von dünnen Sensorschichten. Das Gerät ist für den Einsatz im Rahmen des Vorhabens ECHOS vorgesehen. Es handelt sich um eine Lieferleistung ohne Unterteilung in Lose. Die technische Ausstattung muss eine präzise Analyse der genannten Sensorschichten ermöglichen.

Deformation Measurement System

Beschafft wird ein berührungsloses Deformationsmesssystem auf Basis konfokaler Sensortechnologie für das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS. Das System dient der 3D-Vermessung von Oberflächen, Höhenprofilen und Rauheiten an elektronischen Baugruppen, Solarzellen, Keramiken und Polymeren. Ein besonderer Schwerpunkt liegt auf der Analyse großformatiger Proben mit ausgeprägter dreidimensionaler Topographie. Das Gerät muss als Tischgerät konzipiert sein und zwei verschiedene Messkonfigurationen unterstützen.

Semi-Automatic Wafer Prober System for Characterization of 200-mm Wafers

The subject of the procurement is the supply, installation and commissioning of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and high-frequency characterization of 200-mm wafers for research and laboratory use at IHP. The system shall include, among other components, a 200-mm wafer prober with vacuum chuck and precision positioning, individual probes, multi-contact probes for RF measurements up to at least 6 GHz, a probe card system, automated microscopy and camera equipment, as well as control and software components. The scope of supply also includes transport, installation, commissioning, training, documentation, warranty and spare-parts supply.

Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers

Supply, delivery, installation, commissioning and integration of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system shall support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and shall be integrated with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes, optical and camera systems, control hardware and software, cabling and interfaces, installation, commissioning, operator training and integration support.

Millimeterwellen-Interferometriemessplatz für wissenschaftlichen Laborbetrieb

Gegenstand der Beschaffung ist ein vollständig funktionsfähiger, kalibrierbarer und für den wissenschaftlichen Laborbetrieb geeigneter Millimeterwellen-Interferometriemessplatz zur Charakterisierung von Hochfrequenzkomponenten, Radarsystemen und -Antennen. Die drei Kernfunktionen Netzwerkanalyse, Spektral-/Signalanalyse sowie analoge und vektorielle Signalgeneration müssen die für die jeweilige Funktion erforderlichen Frequenzbereiche bis 170 GHz abdecken. Der Messplatz wird insbesondere für die experimentelle Untersuchung von Millimeterwellen-Interferometrie und Radar eingesetzt.

Piezo-Positioniersystem inkl. Controller und Messprotokoll

Beschafft wird ein Piezo-Positioniersystem für ein rasterndes magneto-optisches Kerr-Mikroskop. Das System muss drei kartesische Achsen (X, Y, Z) mit Positionsmonitoren für eine geschlossene Regelung umfassen. Zum Lieferumfang gehören ein zugehöriger Controller mit drei Kanälen, ein Verbindungskabel von mindestens zwei Metern Länge sowie ein individuelles Messprotokoll. Die Hardware muss vollständig betriebsbereit konfiguriert geliefert werden.

Vollautomatisierbares optisches Messsystem für Schaftwerkzeuge

Gegenstand der Ausschreibung ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines vollautomatisierten optischen Messsystems zur dreidimensionalen Erfassung von Mikrogeometrie- und Verschleißmerkmalen an Schaftwerkzeugen. Das System muss für Werkzeugdurchmesser von 4 bis 25 mm sowie Gesamtlängen bis 350 mm ausgelegt sein und eine vollautomatische Messung ohne Bedienereingriff ermöglichen. Zum Lieferumfang gehören neben der Messmaschine eine Ablage für Spanneinsätze, ein externes Bedien- und Programmierterminal sowie eine Software zur Messdatenverwaltung. Die Anlage muss zudem über Schnittstellen zur Integration in externe Automationssysteme verfügen.

Lieferung eines TIM-Testers zur Bestimmung des thermischen Widerstandes

Beschafft wird ein Messgerät zur stationären Bestimmung des thermischen Widerstandes und der Wärmeleitfähigkeit, ein sogenannter TIM-Tester. Das Gerät dient der Untersuchung von Brennstoffzellenkomponenten wie Gasdiffusionslagen und Bipolarplatten. Es muss in der Lage sein, definierte Verpressungen bis zu 3 MPa, maximal 5 MPa, auf die Proben auszuüben. Zudem sind eine präzise Dickenmessung sowie eine kraft- und weggeregelte Probenbelastung erforderlich. Das System muss inklusive Bedienrechner, Software und notwendiger Kalibrierhilfsmittel einsatzbereit geliefert werden.

Pads für Mirra Anlage zum Oxide Polieren von 8 Zoll Wafern

Beschafft werden 12 Polierpads für die CMP-Anlage MIRRA im CMP-Labor des Fraunhofer ENAS. Die Pads müssen einen Durchmesser von 20 Zoll aufweisen und über ein integriertes optisches Fenster verfügen, das exakt auf die Sensoren der Anlage abgestimmt ist. Da die genauen Spezifikationen des Fensters aufgrund von Vertraulichkeitsvereinbarungen nicht vollständig spezifiziert werden können, ist die Eignung alternativer Pads durch praktische Qualifikationstests nachzuweisen. Die Pads müssen zudem spezifische Anforderungen an Materialeigenschaften wie Härte und Flüssigkeitsaufnahme erfüllen, um einen kontrollierten Materialabtrag zu gewährleisten.