Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)

Elektronenstrahlverdampfer-Beschichtungsanlage für Universität Oldenburg

Die Carl von Ossietzky Universität Oldenburg beschafft eine Elektronenstrahlverdampfer-Beschichtungsanlage für die Arbeitsgruppe Quantenmaterialien. Das System dient der Herstellung homogener optischer und metallischer Beschichtungen auf strukturierten und planen Substraten. Zu den Kernfunktionen gehören die Abscheidung von Schichtstapeln, die thermische Verdampfung von Gold sowie die Substratreinigung mittels Ionenquelle. Die Anlage muss eine Schnittstelle zur Integration eines vorhandenen Reflektometriesystems bieten. Die Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme sind innerhalb von 18 Monaten nach Zuschlagserteilung zu realisieren.

Computergesteuertes Schleif-, Läpp- und Poliersystem

Beschafft wird ein computergesteuertes Schleif-, Läpp- und Poliersystem für die wissenschaftliche Materialprobenpräparation. Das System muss für die Bearbeitung von Halbleitern, Oxiden, Keramiken und Metallen geeignet sein. Ziel ist die reproduzierbare Herstellung planparalleler Proben mit hoher Oberflächenqualität und definierter Enddicke. Die Anlage muss automatisierte Prozessführungen unterstützen und eine präzise Dickenkontrolle ermöglichen. Die Lieferung umfasst zudem die Installation, Inbetriebnahme und Einweisung vor Ort.

Präzises PBF-LB/M System zur additiven Fertigung metallischer Bauteile

Gegenstand der Ausschreibung ist die Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme einer Anlage zur laserbasierten additiven Fertigung metallischer Bauteile im Pulverbett (PBF-LB/M). Das System dient Forschungs-, Entwicklungs- und Demonstrationszwecken und muss die Herstellung kleiner metallischer Bauteile sowie Prüfkörper ermöglichen. Zum Lieferumfang gehören neben der Anlage selbst auch die erforderliche Software zur Bauauftragsvorbereitung und -übertragung sowie qualifizierte Parametersätze. Zudem sind die Integration in bestehende Arbeitsabläufe, eine Bedienerschulung vor Ort und eine umfassende Anlagendokumentation gefordert.

Ultrahochvakuum-Magnetron-Sputter-Beschichtungssystem für die Universität Duisburg-Essen

Beschafft wird ein Ultrahochvakuum-(UHV)-Magnetron-Sputter-Beschichtungssystem für die Universität Duisburg-Essen. Das System muss für die Abscheidung verschiedener Dünnschichtmaterialien geeignet sein und über mindestens sechs Magnetron-Sputterquellen verfügen. Zudem sind eine Load-Lock-Kammer, eine motorisierte Substratrotation sowie eine Substratheizung bis mindestens 600 °C erforderlich. Die Anlage muss eine vollautomatische Prozesssteuerung und eine kontinuierliche Vakuumüberwachung bieten.

Deinstallation, Verlagerung, Wiederinstallation und Inbetriebnahme eines DualBeam-FIB-SEM-Systems

Gegenstand der Beschaffung ist die Deinstallation, Verlagerung an einen neuen Aufstellort, Wiederinstallation, der Wiederanschluss, die Inbetriebnahme, Kalibrierung und Leistungsabnahme eines vorhandenen DualBeam-FIB-SEM/FIB-REM-Systems (Hersteller TESCAN GmbH, Modell GAIA3 GMH). Einbezogen sind vorhandene Systemkomponenten wie Kleindiek-Mikromanipulator, Oxford-EDX-Detektor und TOFWERK-TOF-SIMS. Zum Leistungsumfang gehören außerdem Standort- und Raummessungen hinsichtlich Bodenschwingungen, akustischer Einflüsse sowie magnetischer und elektromagnetischer Störfelder. Nach der Wiederinstallation sind die technische Integrität und die bisherige Geräteleistung durch dokumentierte Prüfungen nachzuweisen.

Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie

Beschafft wird ein Hochtemperatur- und LP-CVD-System für die Microsystemtechnik und Nanotechnologie. Die Anlage muss über acht Prozessstationen verfügen, die für die parallele Bearbeitung von Siliziumwafern ausgelegt sind. Das System ist für Hochtemperatur- und LP-CVD-Prozesse konzipiert und umfasst die notwendige Gasversorgung, Steuerung und Sicherheitstechnik. Die Lieferung beinhaltet zudem die Montage, Inbetriebnahme sowie die Prozessabnahme vor Ort.

Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten in Berlin

Beschafft wird eine Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten. Die Anlage ist für das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik bestimmt. Es handelt sich um ein Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb. Die Lieferung umfasst die vollständige Anlage inklusive der notwendigen technischen Komponenten.

Vertikaler Elektronenstrahlverdampfer für hochreines Germanium für MBE in Berlin

Beschafft wird ein vertikales Elektronenstrahlverdampfer-Gesamtsystem für eine Molekularstrahlepitaxie-Anlage. Das System dient der Herstellung hochreiner, undotierter und kernspinfreier epitaktischer Germaniumschichten. Zum Lieferumfang gehören der Elektronenstrahlverdampfer selbst, eine Steuereinheit, ein Netzteil sowie ein Fluss-Shutter. Zudem sind Abschirmteile aus hochreinem Silizium für den Kontaminationsschutz erforderlich. Die Lieferung erfolgt an das Leibniz-Institut für Kristallzüchtung in Berlin.

Beschaffung eines laborbasierten Systems zur Röntgenabsorptionsspektroskopie (LabXAS)

Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines laborbasierten Systems zur Röntgenabsorptionsspektroskopie (LabXAS), einschließlich der erforderlichen Software sowie sämtlicher Peripherie für ex situ-Messungen und der notwendigen Schnittstellen zur Durchführung und Integration von in situ-Experimenten für das Institut für Technische Chemie und Polymerchemie (ITCP) am Campus Süd (Karlsruhe) des KIT.

Lieferung einer Ultrakurzpuls-Laseranlage für Forschung

Beschafft wird eine Ultrakurzpuls-Laseranlage für die hochschulübergreifende und interdisziplinäre Forschung in den Bereichen Sensorik, Aktorik, Medizintechnik und KI-basierte Materialbearbeitung. Das System muss eine präzise Mikrostrukturierung verschiedener Materialien sowie Dünnschichtablation ermöglichen. Die Anlage ist als 6-Achs-System konzipiert und erfordert eine zentrale Anlagensteuerung. Zum Lieferumfang gehören neben der Hardware auch die Inbetriebnahme, Dokumentation, Mitarbeiterschulung sowie ein fünfjähriges Wartungs- und Servicepaket.