Ultrahochvakuum-Magnetron-Sputter-Beschichtungssystem für die Universität Duisburg-Essen

Elektronenstrahlverdampfer-Beschichtungsanlage für Universität Oldenburg

Die Carl von Ossietzky Universität Oldenburg beschafft eine Elektronenstrahlverdampfer-Beschichtungsanlage für die Arbeitsgruppe Quantenmaterialien. Das System dient der Herstellung homogener optischer und metallischer Beschichtungen auf strukturierten und planen Substraten. Zu den Kernfunktionen gehören die Abscheidung von Schichtstapeln, die thermische Verdampfung von Gold sowie die Substratreinigung mittels Ionenquelle. Die Anlage muss eine Schnittstelle zur Integration eines vorhandenen Reflektometriesystems bieten. Die Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme sind innerhalb von 18 Monaten nach Zuschlagserteilung zu realisieren.

Computergesteuertes Schleif-, Läpp- und Poliersystem

Beschafft wird ein computergesteuertes Schleif-, Läpp- und Poliersystem für die wissenschaftliche Materialprobenpräparation. Das System muss für die Bearbeitung von Halbleitern, Oxiden, Keramiken und Metallen geeignet sein. Ziel ist die reproduzierbare Herstellung planparalleler Proben mit hoher Oberflächenqualität und definierter Enddicke. Die Anlage muss automatisierte Prozessführungen unterstützen und eine präzise Dickenkontrolle ermöglichen. Die Lieferung umfasst zudem die Installation, Inbetriebnahme und Einweisung vor Ort.

Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie

Beschafft wird ein Hochtemperatur- und LP-CVD-System für die Microsystemtechnik und Nanotechnologie. Die Anlage muss über acht Prozessstationen verfügen, die für die parallele Bearbeitung von Siliziumwafern ausgelegt sind. Das System ist für Hochtemperatur- und LP-CVD-Prozesse konzipiert und umfasst die notwendige Gasversorgung, Steuerung und Sicherheitstechnik. Die Lieferung beinhaltet zudem die Montage, Inbetriebnahme sowie die Prozessabnahme vor Ort.

Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)

Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für sowohl thermische als auch plasma-gestützte Atomlagenabscheidung (ALD) von hochpräzisen Dünnfilmen auf dreidimensional vorstrukturierten und planaren Substraten mit kontrollierten Schichtdicken im Nanometer Bereich. Das geplante System soll die Abscheidung supraleitender Filme höchster Güte, insbesondere Niobiumnitrit, dielektrische Dünnfilme sowie magnetische Materialien und High-k-Dielektrika ermöglichen. Dazu soll das Gerät mit präziser in-situ Schichtdicken-überwachung ausgestattet sein um optimale Prozesskontrolle zu ermöglichen. Die angebotene Leistung umfasst Angebot und Lieferung eines Neugerätes, fristgerechte Lieferung, Funktionstest, Einweisung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung vor Ort.

Lieferung einer Ultrakurzpuls-Laseranlage für Forschung

Beschafft wird eine Ultrakurzpuls-Laseranlage für die hochschulübergreifende und interdisziplinäre Forschung in den Bereichen Sensorik, Aktorik, Medizintechnik und KI-basierte Materialbearbeitung. Das System muss eine präzise Mikrostrukturierung verschiedener Materialien sowie Dünnschichtablation ermöglichen. Die Anlage ist als 6-Achs-System konzipiert und erfordert eine zentrale Anlagensteuerung. Zum Lieferumfang gehören neben der Hardware auch die Inbetriebnahme, Dokumentation, Mitarbeiterschulung sowie ein fünfjähriges Wartungs- und Servicepaket.

Vertikaler Elektronenstrahlverdampfer für hochreines Germanium für MBE in Berlin

Beschafft wird ein vertikales Elektronenstrahlverdampfer-Gesamtsystem für eine Molekularstrahlepitaxie-Anlage. Das System dient der Herstellung hochreiner, undotierter und kernspinfreier epitaktischer Germaniumschichten. Zum Lieferumfang gehören der Elektronenstrahlverdampfer selbst, eine Steuereinheit, ein Netzteil sowie ein Fluss-Shutter. Zudem sind Abschirmteile aus hochreinem Silizium für den Kontaminationsschutz erforderlich. Die Lieferung erfolgt an das Leibniz-Institut für Kristallzüchtung in Berlin.

Hochauflösendes Massenspektrometer

Die Technische Universität Dresden schreibt die Lieferung und betriebsbereite Übergabe eines hochauflösenden Massenspektrometers aus. Das System muss aus einem Quadrupol-Massenfilter, einer Linear-Ionenfalle und einem hochauflösenden Massenanalysator bestehen. Zum Lieferumfang gehören zudem die Installation, Inbetriebnahme sowie eine umfassende Einweisung und Schulung des Personals. Das Gerät ist für die Professur für Biochemie bestimmt.

Low-pressure CVD-Anlage

Beschafft wird eine Low-pressure CVD-Anlage für den Standort Chemnitz. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie die Einweisung in das System. Zusätzlich sind optionale Positionen wie ein Prozessbootlift und diverses Zubehör aus Quarzglasware sowie Pumpen und Reaktor-Erweiterungen vorgesehen. Die Anlage muss den geltenden Sicherheits- und Umweltstandards entsprechen.

X-Band-cw-EPR-Spektrometer für das Institut für Physikalische Chemie II

Die Universität Ulm beschafft ein X-Band-cw-EPR-Spektrometer für das Institut für Physikalische Chemie II. Das System muss sowohl für konventionelle cw-EPR-Messungen mit Feldmodulation als auch für transiente cw-EPR-Messungen nach gepulster Laseranregung geeignet sein. Der Betrieb soll in einem Temperaturbereich von tiefen Temperaturen bis nahe Raumtemperatur ohne Verbrauch flüssiger Kryogene erfolgen. Die Beschaffung umfasst die Lieferung, Aufstellung, Installation, Inbetriebnahme und Einweisung des Personals.

Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten in Berlin

Beschafft wird eine Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten. Die Anlage ist für das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik bestimmt. Es handelt sich um ein Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb. Die Lieferung umfasst die vollständige Anlage inklusive der notwendigen technischen Komponenten.