Semi-Automatic Wafer Prober System for Characterization of 200-mm Wafers

Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers

Supply, delivery, installation, commissioning and integration of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system shall support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and shall be integrated with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes, optical and camera systems, control hardware and software, cabling and interfaces, installation, commissioning, operator training and integration support.

Halbautomatischer On-Wafer Prober: Lieferung, Montage und Installation

Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt beschafft einen halbautomatischen On-Wafer-Prober für 200 mm Wafer. Die Leistung umfasst die Lieferung, Montage und Installation des Geräts im Labor 2.23 am Standort Braunschweig. Das System muss für planbare Streuparametermessungen mit einer Bandbreite von mindestens 220 GHz geeignet sein. Zudem sind eine praktische Einweisung sowie eine vollständige Dokumentation der Anlage und der Steuersoftware gefordert.

Millimeterwellen-Interferometriemessplatz für wissenschaftlichen Laborbetrieb

Gegenstand der Beschaffung ist ein vollständig funktionsfähiger, kalibrierbarer und für den wissenschaftlichen Laborbetrieb geeigneter Millimeterwellen-Interferometriemessplatz zur Charakterisierung von Hochfrequenzkomponenten, Radarsystemen und -Antennen. Die drei Kernfunktionen Netzwerkanalyse, Spektral-/Signalanalyse sowie analoge und vektorielle Signalgeneration müssen die für die jeweilige Funktion erforderlichen Frequenzbereiche bis 170 GHz abdecken. Der Messplatz wird insbesondere für die experimentelle Untersuchung von Millimeterwellen-Interferometrie und Radar eingesetzt.

Mikroskopsystem

Beschafft wird ein motorisiertes Mikroskopsystem für die Inspektion von 12-Zoll-Wafern sowie zwei Aufrüstkits für bestehende Mikroskope der Typen Olympus MX50L und MX61L. Das neue System umfasst einen motorisierten XY-Tisch, eine motorisierte Fokussierung, Objektive mit langem Arbeitsabstand, eine hochauflösende Kamera sowie eine entsprechende Bildaufnahme- und Messsoftware. Zudem ist ein Breath Shield zur Kontaminationsreduzierung sowie die Installation und Inbetriebnahme vor Ort gefordert. Die Aufrüstung der Bestandsmikroskope beinhaltet die Integration neuer Kameras und einer harmonisierten Softwareumgebung.

VNA-Frequenzerweiterungen für Netzwerkanalysator

Beschafft werden Frequenzerweiterungen für einen vorhandenen Vektor-Netzwerkanalysator (VNA) des Typs Rohde & Schwarz ZNA 67, um S-Parametermessungen im Frequenzbereich von 67 GHz bis 170 GHz zu ermöglichen. Der Lieferumfang umfasst zwei Frequenzerweiterungen für den Bereich 65-110 GHz sowie ein Hohlleiter-Kalibrierkit für den Bereich 75-110 GHz. Zudem sind die vollständige Hard- und Softwareintegration in das bestehende Messsystem sowie eine Anwenderschulung für bis zu fünf Mitarbeitende am Standort Cottbus gefordert. Die Komponenten müssen mit dem vorhandenen VNA und den Waferprober-Halterungen des Typs MPI MP80INT2-WR-THZ kompatibel sein.

Kauf eines Rasterkraftmikroskops (AFM) für die RPTU Kaiserslautern

Die Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau beschafft ein fabrikneues, modular erweiterbares Rasterkraftmikroskop (AFM). Das System ist für hochauflösende Oberflächencharakterisierungen sowie für quantitative mechanische, adhäsive, tribologische und elektrische Untersuchungen an verschiedenen Probenarten vorgesehen. Es muss sowohl als eigenständiges Tischgerät als auch in Kombination mit einem inversen optischen Mikroskop betreibbar sein. Die Beschaffung umfasst die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie eine umfassende Schulung des Personals.