Plasmawäscher Beschaffung

Teil-automatisches Reinigungssystem für fotolithografische Masken

Beschafft wird ein teil-automatisches Reinigungssystem für fotolithografische Masken zur Verwendung in einem Reinraum der Halbleiterindustrie. Das System muss die Reinigung von 6-, 7- und 9-Zoll-Masken durch austauschbare Chucks ermöglichen. Die Anlage umfasst Funktionen wie Hochdruckreinigung, Megasonic-Reinigung, Bürstenreinigung, N2-Trocknung sowie eine CO2-Wasser-Ionisierung. Zudem sind die Installation, Inbetriebnahme und eine Anwenderschulung für drei Personen gefordert.

Modular Thin-Film Vacuum Deposition System with Glovebox

Beschafft wird ein modulares Dünnschicht-Vakuumbeschichtungssystem mit integrierter Glovebox für die Forschung im Labormaßstab. Das System muss verschiedene Beschichtungstechniken wie Elektronenstrahlverdampfen, thermisches Verdampfen und Magnetronsputtern in zwei unabhängigen Vakuumkammern ermöglichen. Eine automatisierte Probenübergabe zwischen den Kammern sowie ein automatischer Maskenwechsel unter Vakuum sind zwingend erforderlich. Die Integration in ein Glovebox-System mit Inertgasatmosphäre dient der Handhabung von Ausgangsmaterialien und Proben. Das System muss zudem über eine automatisierte Prozesssteuerung und umfangreiche Sicherheitsfunktionen verfügen.

Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage (ICP-PECVD)

Die Universität Heidelberg beschafft ein System für plasma-verstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP). Die Anlage dient der Herstellung hochwertiger dielektrischer Dünnfilme mit präzise steuerbaren optischen Eigenschaften und Schichtdicken im Nanometer- bis Mikrometerbereich. Das System soll für Forschungsarbeiten zur Abscheidung von Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, amorphem Silizium und diamantähnlichen Kohlenstoffschichten eingesetzt werden. Der Lieferumfang umfasst neben dem Neugerät auch die betriebsfertige Aufstellung, Inbetriebnahme, Funktionstests sowie eine dreitägige Schulung für zwei Mitarbeiter.

ICP-MS Messplatz

Beschafft wird ein Single-Quadrupol-ICP-MS-Messplatz der neuesten Generation für die simultane Multielement-Analytik im Spuren- und Ultra-Spurenbereich. Das System muss über eine integrierte Kollisions-/Reaktionszelle zur Interferenzunterdrückung sowie ein softwaregesteuertes Aerosolverdünnungssystem verfügen. Zudem ist eine Kopplungsmöglichkeit mit einem HPLC-System erforderlich. Der Lieferumfang umfasst neben dem Analysegerät auch die notwendige Peripherie wie Vorvakuumpumpe, Chiller, Autosampler und einen PC-Arbeitsplatz mit spezieller Steuerungssoftware. Die Installation, Inbetriebnahme und Einweisung des Personals am Standort der Bundesanstalt für Arbeitsschutz und Arbeitsmedizin in Dortmund sind Bestandteil des Auftrags.

Kompakte Atomic-Layer-Deposition-(ALD)-Anlage für funktionelle Dünnschichten

Beschafft wird eine kompakte Atomic-Layer-Deposition-Anlage für den Einsatz auf einem Standard-Labortisch. Das System dient der hochpräzisen und reproduzierbaren Abscheidung funktionaler Dünnschichten für Forschungszwecke in der Mikro- und Nanotechnologie. Die Anlage muss für verschiedene Substratarten und komplexe Geometrien geeignet sein. Der Lieferumfang umfasst neben der Hardware auch die Inbetriebnahme, Schulung und technische Unterstützung.

Hochvakuum-PVD-Anlage für funktionelle Dünnschichten (Magnetron-Sputtern)

Beschafft wird eine kompakte Hochvakuum-PVD-Anlage für das Magnetron-Sputtern zur Herstellung funktioneller Dünnschichten. Das System muss als vollständig integrierte Tischanlage konzipiert sein und sowohl DC- als auch RF-Sputterprozesse unterstützen. Die Anlage dient der Prozessentwicklung sowie der reproduzierbaren Abscheidung von metallischen, oxidischen und nitridischen Schichten. Zum Lieferumfang gehören neben der Hardware auch die Installation, Inbetriebnahme, Personalschulung und technische Dokumentation.

Protonentauschreaktions-Massenspektrometer (PTR-MS) für Echtzeitanalyse

Beschafft wird ein Protonentauschreaktions-Massenspektrometer (PTR-MS) für die Echtzeiterfassung flüchtiger Substanzen in der biotechnologischen Forschung. Das Gerät muss flüchtige Verbindungen im Kopfraum von Reaktionsgefäßen sowie in der Abluft von Bioreaktoren mit einer Latenzzeit von unter einer Sekunde detektieren können. Zudem sind die Lieferung von Auswertungssoftware für mindestens drei Arbeitsrechner, eine Schulung für mindestens drei Mitarbeiter sowie die Bereitstellung umfangreicher Handbücher erforderlich. Die Leistung umfasst zudem den Transport, die Aufstellung an der Verwendungsstelle sowie die Inbetriebnahme durch den Auftragnehmer.

HPLC Analysengerät

Beschafft wird ein modular aufgebauter Hochleistungsflüssigkeits-Chromatograph (HPLC) als Niederdruckgradientensystem mit quaternärer Pumpe. Das System dient der Analyse organischer Proben wie PAK, Aldehyde und Pestizide. Zur Ausstattung gehören ein Dioden-Array-Detektor (DAD) und ein Fluoreszenzdetektor (FLD). Zudem muss das System für eine spätere Erweiterung um einen massenspektrometrischen Detektor (Single-Quadrupol-MS) ausgelegt sein. Die Lieferung umfasst auch das Steuerungs- und Auswertesystem inklusive PC und Software.

Lieferung, Errichtung und Inbetriebnahme einer Deponiegasreinigung

Die Ausschreibung betrifft die Lieferung, Errichtung und Inbetriebnahme einer Deponiegasreinigungsanlage für den Zweckverband Abfallbehandlung Kahlenberg. Der Leistungsumfang umfasst die Installation eines Gaskühlwäschers zur Gastrocknung sowie einer Gasreinigungsstufe mittels Aktivkohleadsorbern zur Entfernung von Schwefelwasserstoff, Silizium und flüchtigen organischen Verbindungen (VOCs). Zudem sind die notwendigen Rohrleitungsinstallationen, die Messtechnik sowie die Einbindung in das bestehende System erforderlich. Die Arbeiten beinhalten auch die Werk- und Montageplanung, die Inbetriebnahme, den Probebetrieb sowie die Erstellung der Anlagendokumentation.

Lieferung und Installation eines Triple-Quadrupol-ICP-MS/MS-Systems für Batterieforschung

Gegenstand der Beschaffung ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Triple-Quadrupol-ICP-MS/MS-Systems (Tandem-Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma). Das System umfasst unter anderem eine Reaktionszelle, ein HF-beständiges und Standard-Probeneinführungssystem, einen Autosampler, einen Umlaufkühler, eine Online-Gasverdünnung, Steuer- und Auswertesoftware sowie einen PC. Zudem ist eine Geräteeinweisung vor Ort erforderlich. Das System wird für die Spuren- und Ultraspurenelementanalytik von Batteriemetallen und Leitsalzabbauprodukten im Rahmen der Batterieforschung und des Batterierecyclings eingesetzt.