Fizeau-Interferometers

Mikroskopsystem

Beschafft wird ein motorisiertes Mikroskopsystem für die Inspektion von 12-Zoll-Wafern sowie zwei Aufrüstkits für bestehende Mikroskope der Typen Olympus MX50L und MX61L. Das neue System umfasst einen motorisierten XY-Tisch, eine motorisierte Fokussierung, Objektive mit langem Arbeitsabstand, eine hochauflösende Kamera sowie eine entsprechende Bildaufnahme- und Messsoftware. Zudem ist ein Breath Shield zur Kontaminationsreduzierung sowie die Installation und Inbetriebnahme vor Ort gefordert. Die Aufrüstung der Bestandsmikroskope beinhaltet die Integration neuer Kameras und einer harmonisierten Softwareumgebung.

Oberflächenmesssystem

Die Technische Universität Berlin beschafft ein 3D-Oberflächenmesssystem zur Integration in einen Schwungmassenprüfstand. Das System muss für die schnelle Vermessung von Bremsbelagsoberflächen mit Temperaturen bis zu 350 Grad Celsius ausgelegt sein. Zum Lieferumfang gehören das Messsystem selbst, ein Netzteil sowie die erforderlichen Schnittstellen- und Multifunktionskabel. Die Anlieferung des Neugeräts inklusive der technischen Dokumentation ist zwingend erforderlich.

Beschaffung eines Digitizers für Fraunhofer EMI

Beschafft wird ein Digitizer für das Fraunhofer-Institut für Kurzzeitdynamik (EMI) in Freiburg. Das Gerät dient der interferometrischen Geschwindigkeitsmessung in hochdynamischen Materialtests. Die Lieferung umfasst neben dem Gerät selbst auch die Inbetriebnahme sowie eine Einweisung der Anwender vor Ort. Die Beschaffung erfolgt im Rahmen einer öffentlichen Ausschreibung.

Optisches 3D-Messsystem für die TU Dresden

Die Technische Universität Dresden beschafft ein mobiles optisches 3D-Messsystem für die Professur für Werkzeugmaschinenentwicklung und adaptive Steuerung. Der Lieferumfang umfasst neben der Hardware auch die notwendige Software, die Installation, Inbetriebnahme, Schulung des Personals sowie die Dokumentation und Abnahme. Das System dient der Digitalisierung technischer Freiformflächen und Werkzeugoberflächen im Rahmen des KI-Demonstrations- und Transferzentrums ProKI Dresden. Die Leistung muss den Anforderungen an Messgenauigkeit, Portabilität und Sensorauflösung entsprechen.

Micro-alignment Telescopes with Camera system

Die Beschaffung umfasst zwei optische Ausrichtungsteleskope sowie zwei dazugehörige Kamerasysteme für die präzise Positionierung und Ausrichtung von Strahlinstrumenten. Zum Lieferumfang gehören neben den Teleskopen und Kameras auch die notwendigen Halterungen, Verbindungskabel sowie eine dedizierte Software inklusive Hardware zur Bildverarbeitung. Die Systeme müssen eine sub-millimetergenaue Messung ermöglichen und sind für den Einsatz in der FAIR-Anlage vorgesehen. Die Komponenten müssen zudem mit einer eindeutigen Identifikationsnummer (CID) gekennzeichnet werden.

Mechanische Justage optisches Interface

Die Ausschreibung umfasst die Beschaffung eines hochpräzisen, motorisierten 6D-Positioniersystems sowie einer Cantilever-Probecard für die elektrische Kontaktierung. Das 6D-Positioniersystem dient der automatisierten Justage optischer Komponenten wie Fasern und Photonik-Strukturen. Die Probecard ist für den Einsatz in Waferprobern der Firma FormFactor vorgesehen. Beide Komponenten müssen spezifische technische Anforderungen an Präzision, Steuerung und Materialbeschaffenheit erfüllen.

Kompakter Laser für Fraunhofer EMI

Beschafft wird ein kompaktes Lasersystem für interferometrische Untersuchungen bei hochdynamischen Stoßwellenexperimenten. Das Gerät muss als Stand-Alone-Einheit ohne externe Wasserkühlung konzipiert sein und darf eine Masse von 10 kg sowie definierte Abmessungen nicht überschreiten. Der Laser muss eine Wellenlänge von 532 nm aufweisen, fernsteuerbar sein und eine Kohärenzlänge von mindestens 30 m bieten. Die Lieferung erfolgt an das Fraunhofer-Institut für Kurzzeitdynamik (EMI) in Freiburg.

Hochgenaue Koordinatenmessmaschine (KMG)

Die Hochschule Magdeburg-Stendal beschafft eine hochgenaue 3D-Koordinatenmessmaschine in Closed-Frame-Bauweise. Das System muss als Multisensormaschine für taktile und optische Messungen konzipiert sein und einen vollautomatischen Sensorwechsel ohne erneute Rekalibrierung ermöglichen. Zum Lieferumfang gehören neben der Hardware auch die Installation, Inbetriebnahme, Kalibrierung sowie eine Anwenderschulung. Die Maschine ist für den Einsatz als Referenzmessgerät in der Fertigung und Qualitätssicherung vorgesehen.

Beschaffung eines Auf- und Durchlichtmikroskops für die Technische Universität Chemnitz

Beschafft wird ein Auf- und Durchlichtmikroskop-System für die metallografische Untersuchung und Dokumentation von Proben. Das System muss sowohl für Auf- als auch für Durchlichtuntersuchungen geeignet sein und über eine motorisierte X-, Y- und Z-Achse verfügen. Zum Lieferumfang gehören neben dem Mikroskop selbst auch eine Kamera, eine Bediensoftware sowie sämtliches notwendiges Zubehör. Die Leistung umfasst zudem die Lieferung, den Aufbau, die Inbetriebnahme und eine Einweisung des Personals vor Ort. Das System muss eine nahtlose Steuerung eines bereits vorhandenen Zeiss-Mikroskops ermöglichen.

Profilometer

Beschafft wird ein Profilometer für 300mm-Wafer zur Messung von Schichtdicken, Rauheit und Wölbung. Das Gerät muss in der Lage sein, Substratoberflächen von 100mm bis 300mm Wafern sowie quadratische Panels bis 300mm Kantenlänge zu scannen. Die Messung erfolgt mittels einer Nadel mit einstellbaren Kräften und Geschwindigkeiten. Der Lieferumfang umfasst die Installation, Inbetriebnahme und Einweisung am Standort des Fraunhofer IZM in Berlin.