Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage

Auftraggeber

Technische Universität Braunschweig - Abteilung 22 - Vergaberecht und Beschaffung - Zentrale Vergabestelle

38106 Braunschweig

Veröffentlicht

22.09.2026

Angebotsfrist

29.10.2026, 09:00 Uhr

Steckbrief

Veeco K300
MOVPE-Anlage
Halbleitertechnik
Auf- und Umrüstung

Zusammenfassung

Die Technische Universität Braunschweig schreibt die Auf- und Umrüstung einer bestehenden Veeco K300 MOVPE-Anlage aus dem Baujahr 2007 aus. Der Auftrag umfasst ein Steuerungssoftware- und SPS-Upgrade, die Aufrüstung für zwei Hochtemperatur-Metallorganik-Quellenliefersysteme sowie eine Durchfluss-Flanschmodifikation. Ziel ist die Modernisierung der Anlage für die Epitaxie von GaInAlN und die Ermöglichung neuer Prozessanforderungen. Die Arbeiten beinhalten die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und Einweisung des Personals.

Zeitplan

Bekanntmachung22.09.2026
Heute26.09.2026
Bieterfragenfrist22.10.2026
Abgabefrist29.10.2026
Veröffentlichungsende29.10.2026

Ausschreibung

Reichweite:EU-Weit
Vergabeart:Offenes Verfahren
Vergabeverordnung:VgV
Leistung:Lieferleistungen
Klassifizierung:
Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme
Rohrleitungen, Rohrleitungssysteme, Leitungen, Ummantelungen, Verrohrungen und zugehörige Artikel
Programmierung von System- und Anwendersoftware
Erfüllungsort:Technische Universität Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik, Hans-Sommer-Straße 66, 38106 Braunschweig, DE911, Deutschland

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Auftraggeber

Name

Adresse

Website

—

Kontakt

Teilnahme

Abgabeform:Elektronisch
Angebotssprachen:Deutsch
Anzahl der Angebote:
Mehrere Hauptangebote sind zulässig.Nebenangebote sind zulässig.

Voraussetzungen

Referenzen:
  • Dokumente/ Referenzen (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung)

Dokumente

062-26 GG_E_Hinweise zur Erstellung von elektronischen Angeboten_pdf.pdf

Richtlinien
113 KB

Hinweise zur Erstellung und Abgabe elektronischer Angebote über die E-Vergabeplattform Niedersachsen, einschließlich technischer Anforderungen an Browser und Dateiformate.

062-26 GG_B_Leistungsbeschreibung Aufrüstung K300 V4.pdf

Leistungsumfang
210 KB

Detaillierte technische Leistungsbeschreibung für die Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage, unterteilt in Steuerungssoftware, Metallorganik-Quellen und Flanschmodifikationen.

062-26 GG_C_Mindestlohnerklärung _4 NTVergG.pdf

Verwaltung
181 KB

Verpflichtungserklärung zur Einhaltung des Mindestlohngesetzes (MiLoG) und des Niedersächsischen Tariftreue- und Vergabegesetzes (NTVergG) bei der Auftragsausführung.

062-26 GG_E_Bewerbungsbedingungen für die Vergabe von Leistungen_632_05-24.pdf

Richtlinien
120 KB

Bewerbungsbedingungen nach UVgO für die Vergabe von Leistungen, enthaltend Regelungen zu Unklarheiten, Wettbewerbsbeschränkungen und formalen Anforderungen an das Angebot.

062-26 GG_C_Formblatt Erklärung zum Bezug zu Russland.pdf

Vertragliches
188 KB

Eigenerklärung des Bieters über den Ausschluss von Bezügen zu Russland gemäß der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 im Rahmen restriktiver Maßnahmen aufgrund der Lage in der Ukraine.

062-26 GG_C_Eigenerklärung zur Eignung_124LD-.pdf

Verwaltung
222 KB

Formblatt zur Eigenerklärung der Eignung (VHB 124 LD) bezüglich Umsatz, Referenzen und personeller Kapazitäten für Liefer- und Dienstleistungen.

062-26 GG_C_Erklärung_Nachunternehmer_Eignungsleihe.pdf

Verwaltung
147 KB

Formular zur Benennung von Unterauftragnehmern und zur Erklärung der Inanspruchnahme von Kapazitäten anderer Unternehmen (Eignungsleihe).

062-26 GG_A_Aufforderung zur Abgabe eines Angebots_631.pdf

Ausschreibung
189 KB

Offizielle Aufforderung zur Angebotsabgabe für die Auf- und Umrüstung einer MOVPE-Anlage, inklusive Fristen, Bindefrist und Auflistung der Vergabeunterlagen.

062-26 GG_D_Kaufvertrag_K300 Aufrüstung.pdf

Vertragliches
54 KB

Entwurf des Kaufvertrages über die Auf- und Umrüstung der Anlage, inklusive Regelungen zu Vertragsbestandteilen, Lieferbedingungen und Installation.

062-26 GG_C_Titelblatt Leistungsverzeichnis_ENTWURF-.pdf

Finanzielles
173 KB

Titelblatt und Formblatt für das Leistungsverzeichnis zur Eintragung von Preisen, Lieferzeiten und Skonti für die Anlagenaufrüstung.

062-26 GG_E_Anlage Leistungsbeschr. umweltvertr. Beschaffung.pdf

Leistungsumfang
82 KB

Anlage zur Leistungsbeschreibung mit Anforderungen an die umweltverträgliche Beschaffung gemäß NTVergG und Angaben zur Energieeffizienz.

062-26 GG_E_Mindestanforderungen an Nebenangebote.pdf

Richtlinien
250 KB

Festlegung der Mindestanforderungen für die Zulassung von Nebenangeboten, die den Planungs- und Leistungsanforderungen des Auftraggebers entsprechen müssen.

062-26 GG_C_Kontrollen durch den AG gem _14 NTVergG [03_2024].pdf

Vertragliches
140 KB

Einverständniserklärung des Bieters zu Kontrollrechten des Auftraggebers gemäß § 14 NTVergG bezüglich der Einhaltung vergaberechtlicher Verpflichtungen.

062-26 GG_D_Zusätzliche Vertragsbedingungen des Landes Niedersachsen - ZVB.pdf

Vertragliches
111 KB

Zusätzliche Vertragsbedingungen (ZVB) des Landes Niedersachsen für Lieferungen und Leistungen, die die VOL/B ergänzen und Vorrangregelungen definieren.

062-26 GG_C_Angebotsschreiben (ohne Los)_633.pdf

Verwaltung
146 KB

Formblatt für das Angebotsschreiben zur Einreichung der Endsumme, Preisnachlässe und Bestätigung der Bindefrist sowie Auflistung beigefügter Anlagen.

FAQ

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