Maskenloses Lithographiesystem für Hahn-Schickard gGmbH

Lieferung eines maskenlosen Lithographiesystems für UV-Belichtung

Die Technische Universität Dresden schreibt die Lieferung und betriebsbereite Übergabe eines maskenlosen Lithographiesystems für die direkte, rasterbasierte UV-Belichtung aus. Der Leistungsumfang umfasst neben dem Gerät selbst auch die Installation, Inbetriebnahme sowie eine gerätespezifische Einweisung. Das System muss spezifische Anforderungen an Strukturgröße, Belichtungsfläche, Substratgrößen und Positionierungsgenauigkeit erfüllen. Die Belichtung erfolgt mittels UV-LED, wobei verschiedene Belichtungsfunktionen und Software-Schnittstellen gefordert sind.

Lieferung und Installation von Die-Bonder und Photonic-Bonder

Beschafft wird ein Anlagencluster bestehend aus einem Die-Bonder und einem Photonic-Bonder für die hochpräzise Montage elektronischer und photonischer Komponenten. Die Anlagen sind für Forschungs- und Entwicklungszwecke sowie für die Kleinserienfertigung konzipiert und zeichnen sich durch hohe Positioniergenauigkeit und Prozessstabilität aus. Ein wesentlicher Fokus liegt auf der Modularität und der gegenseitigen Kompatibilität der beiden Systeme hinsichtlich Prozessmodulen, Werkzeugen und Software. Beide Anlagen müssen für den Einsatz in Reinraumumgebungen der Klassen ISO 4 bis ISO 6 geeignet sein.

Lieferung eines Autostackers

Beschafft wird ein Autostacker für die automatisierte oder teilautomatisierte Fertigung von mehrschichtigen Polymer-Mikrofluidik-Bauteilen. Das System muss in der Lage sein, dünne, flexible Polymerschichten präzise zu handhaben, automatisch auszurichten und durch druckunterstützte thermische Fusion zu verbinden. Die Anlage ist für die prozessorientierte Entwicklung im Labormaßstab sowie für die Kleinserienfertigung konzipiert. Optional sind Module für UV-Oberflächenvorbehandlung und Ultraschallschweißen gefordert. Das System muss zudem die Anforderungen für den Betrieb in einem Reinraum der ISO-Klasse 7 erfüllen.

Photomakrographie System

Beschaffung eines Photomakrographie Systems.

Femtosekunden-Lasersystem für zeitaufgelöste Ellipsometrie und Photolumineszenz

Beschafft wird ein System zur Messung der fs-zeitaufgelösten Ellipsometrie, der zeitaufgelösten Photonenstatistik und der zeitaufgelösten Photolumineszenz. Das System basiert auf einem vorhandenen Pump-Laser (Light Conversion PHAROS 2 SP) und umfasst sechs Lose für verschiedene Komponenten. Diese beinhalten ein System zur Erzeugung ultrakurzer Laserpulse, einen motorisierten Lineartisch, Polarisations-, Fokussier- und Spiegeloptiken, ein Mikroskopobjektiv, einen Monochromator sowie einen CCD-Zeilendetektor. Ziel ist die Untersuchung der Dynamik von Ladungsträgern und Gitterschwingungen in Festkörpern.

Fetmosekunden-Laser für Lasermikrobearbeitung

Die Hochschule Merseburg schreibt die Beschaffung eines Hochleistungs-Femtosekundenlasers für das Fachlos 1 aus. Der Beschaffungsgegenstand umfasst die Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Integration des Lasersystems in eine bestehende Anlage sowie die Einweisung des Personals. Das System muss spezifische optische Parameter, Puls- und Burst-Betriebsmodi sowie kompakte Abmessungen für die räumliche Integration erfüllen. Die Steuerung und Software müssen eine computergestützte Bedienung ermöglichen. Zudem ist eine unabhängige Kühlung erforderlich.

DLIP-Interferenzmodul für Mehrachs-Laserbearbeitungsplattform

Beschafft wird ein DLIP-Interferenzmodul für die direkte Laser-Interferenz-Strukturierung zur Verwendung in einer bestehenden Laseranlage. Das Modul muss für die Arbeit mit einem Femtosekundenlaser bei einer Wellenlänge von 1030 nm ausgelegt sein und periodische Oberflächenstrukturen mittels Zwei- und Vier-Strahlinterferenz erzeugen können. Der Lieferumfang umfasst das Modul inklusive notwendiger Software und Komponenten für den bestimmungsgemäßen Betrieb. Zudem sind die Installation, Inbetriebnahme, Funktionsprüfung sowie eine Einweisung des Personals gefordert.

Entwicklung einer Laseranlagenplattform zur Perowskit Kristallisation und Annealing

Gegenstand der Ausschreibung ist die Entwicklung einer Laseranlagenplattform für die Perowskit-Kristallisation und das Annealing mittels optisch skalierbarer Prozesse. Der zu entwickelnde Prototyp muss in eine Glovebox integrierbar sein und die vollständige Kristallisation von Werkstücken mit einer Größe von 210 mm x 210 mm in weniger als 30 Sekunden ermöglichen. Die Plattform soll als offene Forschungs- und Entwicklungsplattform dienen und für eine Projektlaufzeit von einem Jahr am Fraunhofer ISE zur Verfügung gestellt werden. Die Leistungen umfassen die Prozessentwicklung, den Aufbau der Anlagenplattform sowie die beratende Begleitung bei der weiteren Prozessentwicklung nach der Lieferung.

Pikosekunden-Laser

Beschafft wird ein industrietaugliches Pikosekunden-Lasersystem für Laborversuche zur Untersuchung der Wirkung kurz gepulster Laserstrahlung auf Materialien. Das System muss eine zentrale Wellenlänge um 1064 nm aufweisen und für Ablations- sowie Laserwirkungsuntersuchungen geeignet sein. Der Lieferumfang umfasst den Laserkopf, die Versorgungs- und Steuereinheit, notwendige Schnittstellen, Verbindungskabel sowie die Dokumentation, Inbetriebnahme und Einweisung. Die Anlage ist für den Betrieb in einem Laborumfeld konzipiert und muss spezifische Anforderungen an Pulsenergie, Pulsdauer und Strahlqualität erfüllen.