Low-pressure CVD-Anlage

Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie

Beschaffung eines Hochtemperatur/ LP-CVD Systems für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie. Das System umfasst eine Hochtemperaturanlage mit 8 Prozessstationen für die Bearbeitung von Siliziumwafern. Es beinhaltet verschiedene Prozessstationen für Oxidation, n-Dotierung und p-Dotierung.

Sputteranlage inkl. Nebenleistungen

Beschaffung einer Sputteranlage inklusive umfangreicher Nebenleistungen. Die Leistungen umfassen Fertigung, Vorabnahme, Lieferung, Einbringung, Aufbau, Montage, Einbau, Inbetriebnahme, Dichtheitsprüfung, Endabnahme und Dokumentation. Zusätzlich sind diverse Programmierleistungen zu erbringen.

High Temperature 200 mm Ion Implanter

Beschaffung eines High Temperature 200 mm Ion Implanters. Optionen umfassen alternative Verfahren zur Implantation von Al, ein Messsystem zur Bestimmung der exakten Ausrichtung des SiC für die Channeling-Implantation sowie einen zweijährigen Wartungsvertrag mit Verlängerungsoptionen.

Neubau Forschungsgebäude CITO - Laborausstattung Universität Regensburg

Die Ausschreibung betrifft die Laborausstattung für das neue Forschungsgebäude CITO der Universität Regensburg. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung und Montage von wandständigen Laborarbeitstischen, Laborschrankwänden sowie Medienversorgungskanälen. Die Arbeiten sind für den Zeitraum von Januar 2027 bis Februar 2028 geplant. Die Vergabe erfolgt im offenen Verfahren als Bauleistung.

5-Achs-Bearbeitungszentrum

Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft ein 5-Achs-Bearbeitungszentrum für den Standort Chemnitz. Die Lieferung soll innerhalb von 6 Monaten erfolgen. Der Zuschlag wird auf Basis von technischer Ausführung (65%) und Preis (35%) erteilt.

Energiedispersives Röntgenfluoreszenzspektrometer (EDRFA) als Tischgerät

Die Technische Universität Bergakademie Freiberg schreibt die Beschaffung eines energiedispersiven Röntgenfluoreszenzspektrometers (EDRFA) als Tischgerät aus. Die Leistung umfasst die für den bestimmungsgemäßen Betrieb erforderliche Hard- und Software, Probenhandhabung, Zubehör, Installation, Inbetriebnahme und Einweisung. Die Ausführung soll bis zum 15.03.2027 abgeschlossen sein.

Projektierung, Fertigung und Inbetriebnahme einer Hochspannungs-Gleichstrom-Stromversorgungsanlage

Gegenstand der Beschaffung ist die Projektierung, Fertigung, Werksprüfung, Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme einer Hochspannungs-Gleichstrom-Stromversorgungsanlage. Der Ausführungsort ist Garching. Die Leistung soll im Zeitraum vom 01.02.2027 bis 01.02.2029 erbracht werden.

Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage

Die Technische Universität Braunschweig schreibt die Auf- und Umrüstung einer bestehenden Veeco K300 MOVPE-Anlage aus dem Baujahr 2007 aus. Der Auftrag umfasst ein Steuerungssoftware- und SPS-Upgrade, die Aufrüstung für zwei Hochtemperatur-Metallorganik-Quellenliefersysteme sowie eine Durchfluss-Flanschmodifikation. Ziel ist die Modernisierung der Anlage für die Epitaxie von GaInAlN und die Ermöglichung neuer Prozessanforderungen. Die Arbeiten beinhalten die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und Einweisung des Personals.

Miete eines fasergekoppelten Diodenlasersystems

Beschafft wird die Miete eines fasergekoppelten Hochleistungs-Diodenlasersystems mit einer Dauerstrichleistung von 8 kW. Das System umfasst neben der Strahlquelle ein Lichtleitkabel, einen gewinkelten Optikkopf, ein Pyrometer sowie die notwendige Software zur Laseransteuerung und Temperaturregelung. Die Anlage ist für eine vollflächige, laserbasierte thermische Materialbearbeitung von Substraten mit einer Schichtdicke von unter 1 mm vorgesehen. Die Mietdauer beträgt sieben Monate im Zeitraum von März bis September 2027. Die Lieferung, Inbetriebnahme und Einweisung des Personals erfolgen am Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme ISE in Freiburg.

Beschaffung einer kompakten Atomic-Layer-Deposition-(ALD)-Anlage

Beschafft wird eine kompakte Atomic-Layer-Deposition-Anlage (ALD) für den Einsatz in Forschungsprojekten der Mikro- und Nanotechnologie sowie Halbleitertechnik. Das System dient der hochpräzisen und reproduzierbaren Abscheidung funktionaler Dünnschichten auf verschiedenen Substratarten. Es ist als Tischgerät konzipiert, das direkt auf einem Standard-Labortisch betrieben werden kann. Der Lieferumfang umfasst neben der Hardware auch die Installation, Inbetriebnahme sowie eine Schulung des wissenschaftlichen Personals.