Deposition Tool 8 Inch für UHV Cluster System

Modular Thin-Film Vacuum Deposition System with Glovebox

Beschafft wird ein modulares Dünnschicht-Vakuumbeschichtungssystem mit integrierter Glovebox für die Forschung im Labormaßstab. Das System muss verschiedene Beschichtungstechniken wie Elektronenstrahlverdampfen, thermisches Verdampfen und Magnetronsputtern in zwei unabhängigen Vakuumkammern ermöglichen. Eine automatisierte Probenübergabe zwischen den Kammern sowie ein automatischer Maskenwechsel unter Vakuum sind zwingend erforderlich. Die Integration in ein Glovebox-System mit Inertgasatmosphäre dient der Handhabung von Ausgangsmaterialien und Proben. Das System muss zudem über eine automatisierte Prozesssteuerung und umfangreiche Sicherheitsfunktionen verfügen.

Halbautomatischer On-Wafer Prober: Lieferung, Montage und Installation

Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt beschafft einen halbautomatischen On-Wafer-Prober für 200 mm Wafer. Die Leistung umfasst die Lieferung, Montage und Installation des Geräts im Labor 2.23 am Standort Braunschweig. Das System muss für planbare Streuparametermessungen mit einer Bandbreite von mindestens 220 GHz geeignet sein. Zudem sind eine praktische Einweisung sowie eine vollständige Dokumentation der Anlage und der Steuersoftware gefordert.

Hochvakuum-PVD-Anlage für funktionelle Dünnschichten (Magnetron-Sputtern)

Beschafft wird eine kompakte Hochvakuum-PVD-Anlage für das Magnetron-Sputtern zur Herstellung funktioneller Dünnschichten. Das System muss als vollständig integrierte Tischanlage konzipiert sein und sowohl DC- als auch RF-Sputterprozesse unterstützen. Die Anlage dient der Prozessentwicklung sowie der reproduzierbaren Abscheidung von metallischen, oxidischen und nitridischen Schichten. Zum Lieferumfang gehören neben der Hardware auch die Installation, Inbetriebnahme, Personalschulung und technische Dokumentation.

Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage (ICP-PECVD)

Die Universität Heidelberg beschafft ein System für plasma-verstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP). Die Anlage dient der Herstellung hochwertiger dielektrischer Dünnfilme mit präzise steuerbaren optischen Eigenschaften und Schichtdicken im Nanometer- bis Mikrometerbereich. Das System soll für Forschungsarbeiten zur Abscheidung von Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, amorphem Silizium und diamantähnlichen Kohlenstoffschichten eingesetzt werden. Der Lieferumfang umfasst neben dem Neugerät auch die betriebsfertige Aufstellung, Inbetriebnahme, Funktionstests sowie eine dreitägige Schulung für zwei Mitarbeiter.

Kompakte Atomic-Layer-Deposition-(ALD)-Anlage für funktionelle Dünnschichten

Beschafft wird eine kompakte Atomic-Layer-Deposition-Anlage für den Einsatz auf einem Standard-Labortisch. Das System dient der hochpräzisen und reproduzierbaren Abscheidung funktionaler Dünnschichten für Forschungszwecke in der Mikro- und Nanotechnologie. Die Anlage muss für verschiedene Substratarten und komplexe Geometrien geeignet sein. Der Lieferumfang umfasst neben der Hardware auch die Inbetriebnahme, Schulung und technische Unterstützung.

Hochtemperatur-Aufnehmer und Widerstandsheizung für 8 MN Strangpresse

Die Technische Universität Berlin beschafft einen Hochtemperatur-Aufnehmer inklusive Hochtemperatur-Traverse und Hochtemperatur-Widerstandsheizung für eine 8 MN Strangpresse. Das System ist für das Strangpressen von Permanentmagneten im Forschungszentrum Strangpressen vorgesehen. Der Auftrag umfasst die Herstellung, Lieferung, Aufstellung, Installation sowie die betriebsbereite Übergabe des Gesamtsystems. Zudem ist eine technische Einweisung der Mitarbeitenden vor Ort erforderlich. Es handelt sich um eine Komplettbeschaffung, bei der ausschließlich neue Komponenten zulässig sind.

Kryogenfreier Verdünnungskryostat mit 14-T-Supraleitermagneten

Beschaffung einer Tieftemperatur-Experimentierplattform mit kryogenfreiem Verdünnungskryostaten und 14-T-Supraleitermagneten. Erwartet wird eine Komplettlösung. Sämtliche für den Betrieb des Systems erforderlichen Geräte und Equipment sowie alle benötigten Tragkonstruktionen, Bodenbefestigungen usw. sind zusammen mit dem System anzubieten.

Hochauflösender Desktop-Mikro-CT-Scanner

Beschafft wird ein hochauflösender Desktop-Mikro-CT-Scanner für die Georg-August-Universität Göttingen. Das Gerät muss spezifische technische Anforderungen hinsichtlich Auflösung, Probenabmessungen, PC-Leistung und Software-Funktionalität erfüllen. Zudem sind ein Zugprüfmodul und eine Thermostage integriert. Die maximale Gerätegröße und das Gewicht sind durch bauseitige Vorgaben begrenzt.

Gerät für die Dynamisch-mechanische Analyse

Die Technische Universität Hamburg beschafft ein Gerät für die dynamisch-mechanische Analyse zur Untersuchung des komplexen Elastizitätsmoduls von Hybridmaterialien. Das System muss die Charakterisierung von millimetergroßen Metallproben unter kontrollierten Umgebungsbedingungen wie Elektrolyteintauchung, Luftfeuchtigkeit und Gasatmosphären ermöglichen. Zum Lieferumfang gehören das Messgerät, Steuerungscomputer, Software, Temperierung sowie eine einführende Anwenderschulung. Das Gerät ist für den Einsatz in der Forschung konzipiert und muss eine hohe Präzision bei der Kraft- und Verschiebungsauflösung aufweisen.

Plasmawäscher Beschaffung

Beschafft wird ein Plasma-Wäscher (Plasma Abatement) zur Abgasreinigung für ein Halbleiter-Forschungsumfeld. Das System dient der Zersetzung schädlicher Gase, Dämpfe und Partikel aus PECVD- und RIE-Prozessen mittels ionisiertem Gas. Es ist für den Anschluss an zehn Prozesskammern verschiedener Anlagentypen konzipiert. Die Anlage muss spezifische Anforderungen an die Abgasbehandlung, den Medienverbrauch und die Sicherheitsstandards erfüllen.