Hochvakuum-PVD-Beschichtungsanlage mit Elektronenstrahlverdampfer

Beschaffung einer kompakten Atomic-Layer-Deposition-(ALD)-Anlage

Beschafft wird eine kompakte Atomic-Layer-Deposition-Anlage (ALD) für den Einsatz in Forschungsprojekten der Mikro- und Nanotechnologie sowie Halbleitertechnik. Das System dient der hochpräzisen und reproduzierbaren Abscheidung funktionaler Dünnschichten auf verschiedenen Substratarten. Es ist als Tischgerät konzipiert, das direkt auf einem Standard-Labortisch betrieben werden kann. Der Lieferumfang umfasst neben der Hardware auch die Installation, Inbetriebnahme sowie eine Schulung des wissenschaftlichen Personals.

Lieferung einer Magnetronsputteranlage für Dünnschichtmaterialentwicklung

Die Universität Kassel beschafft eine automatisierte Mehrtarget-Magnetronsputteranlage für die Dünnschichtmaterialentwicklung. Das System ist für den Einsatz im Reinraum vorgesehen und für die Beschichtung von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm ausgelegt. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie die Einweisung des Personals. Zudem sind die notwendige Steuerungs- und Computersoftware sowie eine umfassende Dokumentation und Garantie Bestandteil des Auftrags.

Lieferung und Installation von Die-Bonder und Photonic-Bonder

Beschafft wird ein Anlagencluster bestehend aus einem Die-Bonder und einem Photonic-Bonder für die hochpräzise Montage elektronischer und photonischer Komponenten. Die Anlagen sind für Forschungs- und Entwicklungszwecke sowie für die Kleinserienfertigung konzipiert und zeichnen sich durch hohe Positioniergenauigkeit und Prozessstabilität aus. Ein wesentlicher Fokus liegt auf der Modularität und der gegenseitigen Kompatibilität der beiden Systeme hinsichtlich Prozessmodulen, Werkzeugen und Software. Beide Anlagen müssen für den Einsatz in Reinraumumgebungen der Klassen ISO 4 bis ISO 6 geeignet sein.

Kauf, Lieferung und Installation eines pixelierten Hybrid-Detektors für Transmissionselektronenmikroskop

Das Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. schreibt den Kauf, die Lieferung und die Installation eines pixelierten Hybrid-Detektors aus. Das Gerät ist für den Einsatz am vorhandenen Transmissionselektronenmikroskop FEI Titan3 G2 60–300 vorgesehen. Der Detektor muss für Elektronenenergien von 60 bis 300 keV geeignet sein und insbesondere 4D-STEM- sowie Nanobeugungsanwendungen ermöglichen. Zum Lieferumfang gehören neben dem Detektor auch die Ausleseelektronik, die Synchronisationseinheit, die erforderliche Software sowie die mechanische und elektrische Integration. Die Inbetriebnahme umfasst zudem eine Anwenderschulung vor Ort.

Präzises PBF-LB/M System zur additiven Fertigung metallischer Bauteile

Gegenstand der Ausschreibung ist die Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme einer Anlage zur laserbasierten additiven Fertigung metallischer Bauteile im Pulverbett (PBF-LB/M). Das System dient Forschungs-, Entwicklungs- und Demonstrationszwecken und muss die Herstellung kleiner metallischer Bauteile sowie Prüfkörper ermöglichen. Zum Lieferumfang gehören neben der Anlage selbst auch die erforderliche Software zur Bauauftragsvorbereitung und -übertragung sowie qualifizierte Parametersätze. Zudem sind die Integration in bestehende Arbeitsabläufe, eine Bedienerschulung vor Ort und eine umfassende Anlagendokumentation gefordert.