Beschaffung einer kompakten Atomic-Layer-Deposition-(ALD)-Anlage

Auftraggeber

Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Abt. Beschaffung, Zahlstelle (K13)

39106 Magdeburg

Veröffentlicht

14.10.2026

Angebotsfrist

26.10.2026, 22:59 Uhr

Steckbrief

Atomic-Layer-Deposition
ALD-Anlage
Dünnschichten
Industrietechnische Anlagen
Labortechnik
Messtechnik

Zusammenfassung

Beschafft wird eine kompakte Atomic-Layer-Deposition-Anlage (ALD) für den Einsatz in Forschungsprojekten der Mikro- und Nanotechnologie sowie Halbleitertechnik. Das System dient der hochpräzisen und reproduzierbaren Abscheidung funktionaler Dünnschichten auf verschiedenen Substratarten. Es ist als Tischgerät konzipiert, das direkt auf einem Standard-Labortisch betrieben werden kann. Der Lieferumfang umfasst neben der Hardware auch die Installation, Inbetriebnahme sowie eine Schulung des wissenschaftlichen Personals.

Zeitplan

Bekanntmachung14.10.2026
Heute17.10.2026
Abgabefrist26.10.2026
Veröffentlichungsende26.10.2026
Bindefrist24.11.2026

Ausschreibung

Reichweite:National
Vergabeart:Öffentliche Ausschreibung
Vergabeverordnung:UVgO
Leistung:Lieferleistungen
Zuschlagskriterien:
Der niedrigste Preis
Auftrags-Budget:116.000 €
Erfüllungsort:Universitätsplatz 2, 39106 Magdeburg, Deutschland

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Auftraggeber

Name

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Website

Kontakt

Teilnahme

Abgabeform:Elektronisch
Anzahl der Angebote:
Mehrere Hauptangebote sind nicht zulässig.Nebenangebote sind nicht zulässig.

Voraussetzungen

Rechtlich:
  • Nachunternehmerverzeichnis (wenn beabsichtigt)
  • Bescheinigung einer Eintragung in das Unternehmer- und Lieferantenverzeichnis der Auftragsberatungsstelle Sachsen-Anhalt oder gültige Bescheinigung einer anerkannten Präqualifizierungsstelle z.B. DIHK PQ-VOL oder Einzelnachweis: Eigenerklärung §§123, 124 GWB
  • Ergänzende Vertragsbedingungen TVergGLSA.pdf
  • Eigenerklärung zum TVergG-LSA § 11 Abs. 1, 3 und 5 zur Tariftreue, Mindeststundenentgelt und Entgeltgleichheit
  • Eigenerklärung zum TVergG-LSA § 14, Abs. 2, 4 Nachunternehmer und Verleiher
  • Eigenerklärung zum TVergG-LSA § 17 Abs. 1, 2 und 3 zur Nachweispflicht bei Kontrollen durch den Auftraggeber

Dokumente

631_Aufforderung_zur_Abgabe_eines_Angebots.pdf

Ausschreibung
182 KB

Aufforderung zur Abgabe eines Angebots für eine Atomic-Layer-Deposition-Anlage mit Details zu Fristen, Vergabestelle und einzureichenden Unterlagen.

632_Bewerbungsbedingungen.pdf

Richtlinien
77 KB

Bewerbungsbedingungen gemäß UVgO mit Hinweisen zu Unklarheiten, Wettbewerbsbeschränkungen und formalen Anforderungen an das Angebot.

633_Angebot.pdf

Verwaltung
1.3 MB

Vordruck für das Angebotsschreiben zur Einreichung von Preisen, Angaben zu Bietergemeinschaften und Erklärungen zur Eignung.

634_Besondere_Vertragsbedingungen.pdf

Vertragliches
77 KB

Besondere Vertragsbedingungen (BVB) mit Regelungen zu Anlieferung, Ausführungsfristen, Vertragsstrafen und Rechnungsstellung.

635_ZVB.pdf

Vertragliches
73 KB

Zusätzliche Vertragsbedingungen für Liefer- und Dienstleistungen bezüglich Art und Umfang, Leistungsänderungen, Abnahme und Mängelansprüchen.

Handlungsanweisung__Nachunternehmer.pdf

Verwaltung
19 KB

Eigenerklärung und Verpflichtung zum Einsatz von Nachunternehmern gemäß Tariftreue- und Vergabegesetz Sachsen-Anhalt.

Anlage_Leistungsverzeichnis_Englisch_Annex_Specifications_English.pdf

Leistungsumfang
109 KB

Technical specifications for a compact benchtop Atomic Layer Deposition (ALD) system, including dimensions, temperature range, and process requirements.

Eigenerklärung_nach__123_124_GWB.pdf

Verwaltung
1.9 MB

Eigenerklärung zum Nichtvorliegen von zwingenden und fakultativen Ausschlussgründen gemäß GWB.

Ergänzende_Vertragsbedingungen_TVergGLSA.pdf

Vertragliches
103 KB

Erklärungen zur Tariftreue, zum Mindeststundenentgelt und zur Entgeltgleichheit nach dem TVergG LSA.

NACHUN_1.PDF

Verwaltung
174 KB

Formblatt für das Nachunternehmerverzeichnis zur Benennung von Teilleistungen und beauftragten Unternehmen.

Ergänzende_Vertragsbedingungen_allgemein.pdf

Vertragliches
77 KB

Ergänzende Vertragsbedingungen zu Kontrollrechten und Sanktionen im Zusammenhang mit dem Tariftreue- und Vergabegesetz Sachsen-Anhalt.

Leistungsverzeichnis.pdf

Leistungsumfang
29 KB

Detaillierte technische Beschreibung der Anforderungen an eine kompakte Atomic-Layer-Deposition-Anlage zur Herstellung von Dünnschichten.

FAQ

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