Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografiesystem) Lieferung und Installation

Teil-automatisches Reinigungssystem für fotolithografische Masken

Beschafft wird ein teil-automatisches Reinigungssystem für fotolithografische Masken zur Verwendung in einem Reinraum der Halbleiterindustrie. Das System muss die Reinigung von 6-, 7- und 9-Zoll-Masken durch austauschbare Chucks ermöglichen. Die Anlage umfasst Funktionen wie Hochdruckreinigung, Megasonic-Reinigung, Bürstenreinigung, N2-Trocknung sowie eine CO2-Wasser-Ionisierung. Zudem sind die Installation, Inbetriebnahme und eine Anwenderschulung für drei Personen gefordert.

Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter

Die Ausschreibung betrifft die Erneuerung und Erweiterung einer bestehenden MOVPE-Anlage (Metallorganische Gasphasenepitaxie) des Herstellers Aixtron für III-Nitrid und 2D-Halbleiter. Der Leistungsumfang umfasst den Austausch spezifischer Komponenten wie der Prozesspumpe, des Showerhead-Gaseinlasses und von Rückschlagventilen. Zudem ist die Anlage um Leitungen für die Quellmaterialien Triethylboran und Ethen zu erweitern, inklusive der notwendigen Anpassungen am Gasversorgungssystem. Die Arbeiten beinhalten die Lieferung, Montage, Integration, Inbetriebnahme sowie eine umfassende Funktionsprüfung der Anlage.

Mikrooptikdrucker für Quantentechnologien

Beschafft wird ein Mikrooptikdrucker für das Institut für Quantentechnologien des DLR am Standort Ulm. Die Anlage dient der additiven Fertigung von Mikro- und Nanostrukturen sowie Mikrooptiken mittels Zwei-Photonen-Polymerisation. Das System muss für den Einsatz in einem Reinraum der Klasse ISO 5 geeignet sein. Zum Lieferumfang gehören neben der Hardware auch die notwendige Software, Optikkonfigurationen, Substrathalter sowie Verbrauchsmaterialien. Zudem sind die Inbetriebnahme, Abnahme, Dokumentation und Personalschulung gefordert.

Mechanische Justage optisches Interface

Die Ausschreibung umfasst die Beschaffung eines hochpräzisen, motorisierten 6D-Positioniersystems sowie einer Cantilever-Probecard für die elektrische Kontaktierung. Das 6D-Positioniersystem dient der automatisierten Justage optischer Komponenten wie Fasern und Photonik-Strukturen. Die Probecard ist für den Einsatz in Waferprobern der Firma FormFactor vorgesehen. Beide Komponenten müssen spezifische technische Anforderungen an Präzision, Steuerung und Materialbeschaffenheit erfüllen.

Mikroskopsystem

Beschafft wird ein motorisiertes Mikroskopsystem für die Inspektion von 12-Zoll-Wafern sowie zwei Aufrüstkits für bestehende Mikroskope der Typen Olympus MX50L und MX61L. Das neue System umfasst einen motorisierten XY-Tisch, eine motorisierte Fokussierung, Objektive mit langem Arbeitsabstand, eine hochauflösende Kamera sowie eine entsprechende Bildaufnahme- und Messsoftware. Zudem ist ein Breath Shield zur Kontaminationsreduzierung sowie die Installation und Inbetriebnahme vor Ort gefordert. Die Aufrüstung der Bestandsmikroskope beinhaltet die Integration neuer Kameras und einer harmonisierten Softwareumgebung.

Kompakte Atomic-Layer-Deposition-(ALD)-Anlage für funktionelle Dünnschichten

Beschafft wird eine kompakte Atomic-Layer-Deposition-Anlage für den Einsatz auf einem Standard-Labortisch. Das System dient der hochpräzisen und reproduzierbaren Abscheidung funktionaler Dünnschichten für Forschungszwecke in der Mikro- und Nanotechnologie. Die Anlage muss für verschiedene Substratarten und komplexe Geometrien geeignet sein. Der Lieferumfang umfasst neben der Hardware auch die Inbetriebnahme, Schulung und technische Unterstützung.

Lieferung einer Fiberlaseranlage inkl. Einweisung und Schulung für BBS Melle

Beschafft wird eine LVD Laserschneidanlage des Typs LaserTWO 3015 mit einer Laserleistung von 3 kW. Zum Lieferumfang gehören neben der Anlage diverses Zubehör wie ein Schneidgasfilter, eine Filtereinheit, eine Cleanbox sowie ein Verschleißteilesatz und sicherheitstechnische Komponenten. Die Leistungen umfassen zudem die fachgerechte Aufstellung und Inbetriebnahme der Anlage vor Ort. Abgerundet wird der Auftrag durch eine Einweisung und Schulung für vier Personen in der Programmierung und Bedienung der Maschine.

3D-Koordinatenmessmaschine

Beschafft wird eine 3D-Koordinatenmessmaschine inklusive Zubehör und zugehöriger Software. Der Auftrag umfasst zudem die Lieferung, den Aufbau sowie die Inbetriebnahme des Geräts am Bestimmungsort. Optional wird eine Schulung für das Bedienpersonal des Auftraggebers angefordert. Die Beschaffung erfolgt im Rahmen einer Rahmenvereinbarung.

Lieferung eines vollautomatischen Drahtbonders

Gegenstand der Ausschreibung ist die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie Einweisung in die Bedienung eines fabrikneuen, vollautomatischen Drahtbonders für den Einsatz in Forschung und Entwicklung. Das System muss für die Durchführung von Wedge-Wedge- und Ball-Wedge-Bondprozessen ausgelegt sein und eine hochpräzise sowie reproduzierbare Verarbeitung von Aluminium- und Golddrähten sowie von Goldbändchen ermöglichen. Es muss über eine vollautomatische Bilderkennung, eine Echtzeit-Prozessüberwachung sowie eine programmierbare Loop-Geometrie verfügen.

System zur Ölauflagenmessung

Beschafft wird ein System zur Ölauflagenmessung für die Technische Universität Dresden. Das System dient der Erfassung der Schmiermittelverteilung auf Platinen im Rahmen eines Forschungsprojekts zur Umformtechnik. Der Lieferumfang umfasst die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie die Einweisung des Personals. Das System muss in der Lage sein, Schmiermittelmengen in eine dreidimensionale Repräsentation zu überführen.