Micro Prober / Spitzenmessplatz

Optical Microphone (EMFT-07.4)

Beschafft wird ein optisches Mikrofonsystem, bestehend aus einem Sensorkopf und einer Signalaufbereitungseinheit. Das System ist für die Messung von Schallfeldern von MEMS-Wandlern in einem Forschungslabor vorgesehen. Die Lieferung umfasst zudem optionales Zubehör wie Garantieverlängerungen, einen Kalibriersatz sowie einen Transport- und Aufbewahrungskoffer. Die technische Spezifikation erfordert unter anderem einen Frequenzbereich bis mindestens 500 kHz und eine hohe dynamische Empfindlichkeit.

Sheet Resistance Measurement Tool

Beschafft wird ein Sheet Resistance Profilometer für 300mm-Wafer zur Messung des Schichtwiderstands dünner Metallschichten. Das Gerät muss Wafergrößen von 100mm bis 300mm verarbeiten können und über eine automatische Positionierung zur Erstellung von Widerstandskarten verfügen. Die Messung erfolgt mittels Vier-Punkt-Sonden-Technik. Das System muss kompakt sein und spezifische Softwareanforderungen für die Datenanalyse und Automatisierung erfüllen.

Millimeterwellen-Interferometriemessplatz für wissenschaftlichen Laborbetrieb

Gegenstand der Beschaffung ist ein vollständig funktionsfähiger, kalibrierbarer und für den wissenschaftlichen Laborbetrieb geeigneter Millimeterwellen-Interferometriemessplatz zur Charakterisierung von Hochfrequenzkomponenten, Radarsystemen und -Antennen. Die drei Kernfunktionen Netzwerkanalyse, Spektral-/Signalanalyse sowie analoge und vektorielle Signalgeneration müssen die für die jeweilige Funktion erforderlichen Frequenzbereiche bis 170 GHz abdecken. Der Messplatz wird insbesondere für die experimentelle Untersuchung von Millimeterwellen-Interferometrie und Radar eingesetzt.

Deformation Measurement System

Beschafft wird ein berührungsloses Deformationsmesssystem auf Basis konfokaler Sensortechnologie für das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS. Das System dient der 3D-Vermessung von Oberflächen, Höhenprofilen und Rauheiten an elektronischen Baugruppen, Solarzellen, Keramiken und Polymeren. Ein besonderer Schwerpunkt liegt auf der Analyse großformatiger Proben mit ausgeprägter dreidimensionaler Topographie. Das Gerät muss als Tischgerät konzipiert sein und zwei verschiedene Messkonfigurationen unterstützen.

Needle Hydrophone (EMFT-07.3)

Beschafft wird ein Nadelhydrofon-System für Unterwassermessungen akustischer Signale zur Charakterisierung von Ultraschall-MEMS-Wandlern. Das System besteht aus einem Nadelhydrofon, einem Vorverstärker und einem Gleichstromkoppler. Zusätzlich werden optionale Leistungen wie erweiterte Garantielaufzeiten und ein zweites Nadelhydrofon mit abweichendem Durchmesser nachgefragt. Die Lieferung soll bis Februar 2027 erfolgen.

Piezo-Positioniersystem inkl. Controller und Messprotokoll

Beschafft wird ein Piezo-Positioniersystem für ein rasterndes magneto-optisches Kerr-Mikroskop. Das System muss drei kartesische Achsen (X, Y, Z) mit Positionsmonitoren für eine geschlossene Regelung umfassen. Zum Lieferumfang gehören ein zugehöriger Controller mit drei Kanälen, ein Verbindungskabel von mindestens zwei Metern Länge sowie ein individuelles Messprotokoll. Die Hardware muss vollständig betriebsbereit konfiguriert geliefert werden.

Halbautomatischer On-Wafer Prober: Lieferung, Montage und Installation

Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt beschafft einen halbautomatischen On-Wafer-Prober für 200 mm Wafer. Die Leistung umfasst die Lieferung, Montage und Installation des Geräts im Labor 2.23 am Standort Braunschweig. Das System muss für planbare Streuparametermessungen mit einer Bandbreite von mindestens 220 GHz geeignet sein. Zudem sind eine praktische Einweisung sowie eine vollständige Dokumentation der Anlage und der Steuersoftware gefordert.

Lieferung eines Digitalmikroskops mit LIBS

Beschafft wird ein Digitalmikroskop mit integrierter Laser Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS) zur Untersuchung anorganischer kristalliner und amorpher Pulver, Metalloberflächen sowie Beton-Probekörpern. Das System muss eine 4K-Bildgebung, automatisierte XY- und Z-Stages sowie Funktionen zur 3D-Profilerstellung und automatisierten Partikelzählung bieten. Zudem ist eine Elementaranalyse zur Bestimmung verschiedener chemischer Elemente erforderlich. Die Lieferung umfasst neben dem Gerät auch die Einweisung und Schulung des Personals.

Kompakt-Rasterelektronenmikroskop zur hochauflösenden Abbildung und Charakterisierung

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein Kompakt-Rasterelektronenmikroskop zur hochauflösenden Abbildung und Charakterisierung von Nanopartikeln und Nanofasern. Das System muss als betriebsfertiges Komplettgerät inklusive Steuerrechner, Bediensoftware und einem vollautomatischen Vakuum-Pumpsystem geliefert werden. Zu den technischen Mindestanforderungen gehören eine SE-Auflösung von mindestens 4 nm, ein integriertes EDS-System zur Elementanalyse sowie ein motorisierter Probentisch. Die Lieferung umfasst zudem die Aufstellung, Inbetriebnahme, Kalibrierung und eine Ersteinweisung vor Ort. Das Gerät muss eine einfache Bedienung und wartungsarme Instandhaltung gewährleisten.

Semi-Automatic Wafer Prober System for Characterization of 200-mm Wafers

The subject of the procurement is the supply, installation and commissioning of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and high-frequency characterization of 200-mm wafers for research and laboratory use at IHP. The system shall include, among other components, a 200-mm wafer prober with vacuum chuck and precision positioning, individual probes, multi-contact probes for RF measurements up to at least 6 GHz, a probe card system, automated microscopy and camera equipment, as well as control and software components. The scope of supply also includes transport, installation, commissioning, training, documentation, warranty and spare-parts supply.